Berita

Pelapis tantalum carbide (TAC) banyak digunakan di bidang semikonduktor, terutama untuk komponen reaktor pertumbuhan epitaxial, komponen kunci pertumbuhan kristal tunggal, komponen industri yang tinggi dan komponen komponen yang sangat tinggi dan resistansi dengan suhu tinggi, dan resistansi dengan suhu tinggi.

Selama proses pertumbuhan epitaxial SIC, kegagalan suspensi grafit yang dilapisi SiC dapat terjadi. Makalah ini melakukan analisis yang ketat tentang fenomena kegagalan suspensi grafit yang dilapisi SiC, yang terutama mencakup dua faktor: kegagalan gas epitaxial SiC dan kegagalan pelapisan SiC.

Artikel ini terutama membahas masing-masing keunggulan proses dan perbedaan proses epitaxy balok molekul dan teknologi deposisi uap kimia logam-organik.