Oksidasi dan tungku difusi

Tungku oksidasi dan difusi digunakan di berbagai bidang seperti perangkat semikonduktor, perangkat diskrit, perangkat optoelektronik, perangkat elektronik daya, sel surya, dan pembuatan sirkuit terintegrasi skala besar. Mereka digunakan untuk proses termasuk difusi, oksidasi, anil, paduan, dan sintering wafer.

Vetek Semiconductor adalah produsen terkemuka yang berspesialisasi dalam produksi grafit dengan kemurnian tinggi, silikon karbida dan komponen kuarsa dalam oksidasi dan tungku difusi. Kami berkomitmen untuk menyediakan komponen tungku berkualitas tinggi untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik, dan berada di garis depan teknologi pelapisan permukaan, seperti CVD-SIC, CVD-TAC, pyrocarbon, dll.

Keuntungan komponen silikon semikonduktor vetek:

● Resistensi suhu tinggi (hingga 1600 ℃)

● Konduktivitas termal yang sangat baik dan stabilitas termal

● Resistensi korosi kimia yang baik

● Koefisien ekspansi termal yang rendah

● Kekuatan dan kekerasan tinggi

● Umur Layanan Panjang

Dalam oksidasi dan tungku difusi, karena adanya suhu tinggi dan gas korosif, banyak komponen memerlukan penggunaan bahan suhu tinggi dan tahan korosi, di antaranya silikon karbida (SiC) adalah pilihan yang umum digunakan. Berikut ini adalah komponen silikon karbida umum yang ditemukan dalam tungku oksidasi dan tungku difusi:

● Kapal Wafer

Silicon Carbide Wafer Boat adalah wadah yang digunakan untuk membawa wafer silikon, yang dapat menahan suhu tinggi dan tidak akan bereaksi dengan wafer silikon.

● Tabung tungku

Tabung tungku adalah komponen inti dari tungku difusi, yang digunakan untuk mengakomodasi wafer silikon dan mengontrol lingkungan reaksi. Tabung tungku silikon karbida memiliki kinerja resistensi suhu tinggi dan korosi yang sangat baik.

● Pelat Baffle

Digunakan untuk mengatur aliran udara dan distribusi suhu di dalam tungku

● Tabung perlindungan termokopel

Digunakan untuk melindungi suhu yang mengukur termokopel dari kontak langsung dengan gas korosif.

● Cantilever Paddle

Silikon karbida kantilever dayung tahan terhadap suhu tinggi dan korosi, dan digunakan untuk mengangkut kapal silikon atau perahu kuarsa yang membawa wafer silikon ke dalam tabung tungku difusi.

● Injektor gas

Digunakan untuk memperkenalkan gas reaksi ke dalam tungku, ia harus tahan terhadap suhu tinggi dan korosi.

● Pembawa perahu

Pembawa perahu wafer silikon karbida digunakan untuk memperbaiki dan mendukung wafer silikon, yang memiliki keunggulan seperti kekuatan tinggi, ketahanan korosi, dan stabilitas struktural yang baik.

● Pintu tungku

Pelapis atau komponen silikon karbida juga dapat digunakan di bagian dalam pintu tungku.

● Elemen pemanas

Elemen pemanas silikon karbida cocok untuk suhu tinggi, daya tinggi, dan dapat dengan cepat meningkatkan suhu menjadi lebih dari 1000 ℃.

● SIC Liner

Digunakan untuk melindungi dinding bagian dalam tabung tungku, ini dapat membantu mengurangi hilangnya energi panas dan menahan lingkungan yang keras seperti suhu tinggi dan tekanan tinggi.

View as

Lengan robot silikon karbida

Lengan robot Silicon Carbide (SIC) kami dirancang untuk penanganan wafer berkinerja tinggi di manufaktur semikonduktor canggih. Terbuat dari silikon karbida dengan kemurnian tinggi, lengan robot ini menawarkan resistensi luar biasa terhadap suhu tinggi, korosi plasma, dan serangan kimia, memastikan operasi yang andal di lingkungan kamar bersih yang menuntut. Kekuatan mekanik dan stabilitas dimensi yang luar biasa memungkinkan penanganan wafer yang tepat sambil meminimalkan risiko kontaminasi, menjadikannya pilihan yang ideal untuk MOCVD, epitaxy, implantasi ion, dan aplikasi penanganan wafer kritis lainnya. Kami menyambut pertanyaan Anda.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

Silicon Carbide Sic Wafer Boat

Perahu wafer veteksemicon sic banyak digunakan dalam proses suhu tinggi kritis dalam manufaktur semikonduktor, berfungsi sebagai pembawa yang andal untuk oksidasi, difusi, dan proses anil untuk sirkuit terintegrasi berbasis silikon. Mereka juga unggul di sektor semikonduktor generasi ketiga, sangat cocok untuk proses yang menuntut seperti pertumbuhan epitaxial (EPI) dan deposisi uap kimia logam-organik (MOCVD) untuk perangkat daya SIC dan GAN. Mereka juga mendukung fabrikasi suhu tinggi dari sel surya efisiensi tinggi di industri fotovoltaik. Menantikan konsultasi lebih lanjut Anda.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

Sic Cantilever mendayung

Veteksemicon sic cantilever dayung adalah lengan pendukung silikon karbida tinggi-kemurnian yang dirancang untuk penanganan wafer dalam tungku difusi horizontal dan reaktor epitaxial. Dengan konduktivitas termal yang luar biasa, ketahanan korosi, dan kekuatan mekanik, dayung ini memastikan stabilitas dan kebersihan dalam lingkungan semikonduktor yang menuntut. Tersedia dalam ukuran khusus dan dioptimalkan untuk umur layanan yang panjang.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

Membran keramik sic

Veteksemicon SIC Ceramics membran adalah jenis membran anorganik dan milik bahan membran padat dalam teknologi pemisahan membran. Membran SIC ditembakkan pada suhu di atas 2000 ℃. Permukaan partikel halus dan bulat. Tidak ada pori atau saluran tertutup di lapisan pendukung dan setiap lapisan. Mereka biasanya terdiri dari tiga lapisan dengan ukuran pori yang berbeda.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

Pelat keramik sic berpori

Pelat keramik SIC berpori kami adalah bahan keramik berpori yang terbuat dari silikon karbida sebagai komponen utama dan diproses oleh proses khusus. Mereka adalah bahan yang sangat diperlukan dalam manufaktur semikonduktor, deposisi uap kimia (CVD) dan proses lainnya.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

SIC Ceramics Wafer Boat

Vetek Semiconductor adalah pemasok perahu wafer keramik SIC terkemuka, produsen dan pabrik di Cina. Kapal Wafer Keramik SIC kami adalah komponen vital dalam proses penanganan wafer canggih, melayani industri fotovoltaik, elektronik, dan semikonduktor. Menantikan konsultasi Anda.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Sebagai produsen dan pemasok profesional Oksidasi dan tungku difusi di Cina, kami memiliki pabrik kami sendiri. Apakah Anda memerlukan layanan khusus untuk memenuhi kebutuhan spesifik wilayah Anda atau ingin membeli Oksidasi dan tungku difusi lanjutan dan tahan lama yang dibuat di Cina, Anda dapat meninggalkan pesan kepada kami.

Kode QR

Tentang kami

Produk

Hubungi kami

Telepon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
Surel
anny@veteksemi.com
Alamat
Jalan Wangda, Jalan Ziyang, Wilayah Wuyi, Kota Jinhua, Provinsi Zhejiang, Cina

Menu Web

Pencarian Produk

Bahasa

Menu Keluar

Oksidasi dan tungku difusi

Keuntungan komponen silikon semikonduktor vetek:

Lengan robot silikon karbida

Silicon Carbide Sic Wafer Boat

Sic Cantilever mendayung

Membran keramik sic

Pelat keramik sic berpori

SIC Ceramics Wafer Boat

mengirimkan permintaan

Kode QR

Tentang kami

Produk

Hubungi kami

Telepon

Fax

Surel

Alamat