Tungku oksidasi dan difusi digunakan di berbagai bidang seperti perangkat semikonduktor, perangkat diskrit, perangkat optoelektronik, perangkat elektronik daya, sel surya, dan pembuatan sirkuit terintegrasi skala besar. Mereka digunakan untuk proses termasuk difusi, oksidasi, anil, paduan, dan sintering wafer.
Vetek Semiconductor adalah produsen terkemuka yang berspesialisasi dalam produksi grafit dengan kemurnian tinggi, silikon karbida dan komponen kuarsa dalam oksidasi dan tungku difusi. Kami berkomitmen untuk menyediakan komponen tungku berkualitas tinggi untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik, dan berada di garis depan teknologi pelapisan permukaan, seperti CVD-SIC, CVD-TAC, pyrocarbon, dll.
Keuntungan komponen silikon semikonduktor vetek:
● Resistensi suhu tinggi (hingga 1600 ℃)
● Konduktivitas termal yang sangat baik dan stabilitas termal
● Resistensi korosi kimia yang baik
● Koefisien ekspansi termal yang rendah
● Kekuatan dan kekerasan tinggi
Dalam oksidasi dan tungku difusi, karena adanya suhu tinggi dan gas korosif, banyak komponen memerlukan penggunaan bahan suhu tinggi dan tahan korosi, di antaranya silikon karbida (SiC) adalah pilihan yang umum digunakan. Berikut ini adalah komponen silikon karbida umum yang ditemukan dalam tungku oksidasi dan tungku difusi:
● Kapal Wafer
Silicon Carbide Wafer Boat adalah wadah yang digunakan untuk membawa wafer silikon, yang dapat menahan suhu tinggi dan tidak akan bereaksi dengan wafer silikon.
● Tabung tungku
Tabung tungku adalah komponen inti dari tungku difusi, yang digunakan untuk mengakomodasi wafer silikon dan mengontrol lingkungan reaksi. Tabung tungku silikon karbida memiliki kinerja resistensi suhu tinggi dan korosi yang sangat baik.
● Pelat Baffle
Digunakan untuk mengatur aliran udara dan distribusi suhu di dalam tungku
● Tabung perlindungan termokopel
Digunakan untuk melindungi suhu yang mengukur termokopel dari kontak langsung dengan gas korosif.
● Cantilever Paddle
Silikon karbida kantilever dayung tahan terhadap suhu tinggi dan korosi, dan digunakan untuk mengangkut kapal silikon atau perahu kuarsa yang membawa wafer silikon ke dalam tabung tungku difusi.
● Injektor gas
Digunakan untuk memperkenalkan gas reaksi ke dalam tungku, ia harus tahan terhadap suhu tinggi dan korosi.
● Pembawa perahu
Pembawa perahu wafer silikon karbida digunakan untuk memperbaiki dan mendukung wafer silikon, yang memiliki keunggulan seperti kekuatan tinggi, ketahanan korosi, dan stabilitas struktural yang baik.
● Pintu tungku
Pelapis atau komponen silikon karbida juga dapat digunakan di bagian dalam pintu tungku.
● Elemen pemanas
Elemen pemanas silikon karbida cocok untuk suhu tinggi, daya tinggi, dan dapat dengan cepat meningkatkan suhu menjadi lebih dari 1000 ℃.
● SIC Liner
Digunakan untuk melindungi dinding bagian dalam tabung tungku, ini dapat membantu mengurangi hilangnya energi panas dan menahan lingkungan yang keras seperti suhu tinggi dan tekanan tinggi.
