Menu Web

Pencarian Produk

Bahasa

Produk

Keramik Silikon Karbida

VeTek Semiconductor adalah mitra inovatif Anda di bidang pemrosesan semikonduktor. Dengan portofolio kami yang luas untuk kombinasi material Keramik Silikon Karbida tingkat semikonduktor, kemampuan manufaktur komponen, dan layanan rekayasa aplikasi, kami dapat membantu Anda mengatasi tantangan yang signifikan. Teknik teknis Keramik Silikon Karbida banyak diterapkan di industri semikonduktor karena kinerja materialnya yang luar biasa. Keramik Silikon Karbida ultra-murni VeTek Semiconductor sering digunakan di seluruh siklus pembuatan dan pemrosesan semikonduktor.


PENGOLAHAN DIFUSI & LPCVD

VeTek Semiconductor menyediakan komponen keramik rekayasa yang dirancang khusus untuk difusi batch dan kebutuhan LPCVD termasuk:

• Penyekat & penahan
• Injektor
• Liner & tabung proses
• Dayung Kantilever Silikon Karbida
• Perahu wafer dan alasnya


Silicon Carbide Cantilever Paddle Dayung Kantilever SiC SiC Process Tube Tabung Proses SiC SiC Diffusion Furnace Tube Tabung Proses Silikon Karbida Silicon Carbide wafer Carrier perahu wafer vertikal SiC High purity SiC wafer boat carrier perahu wafer horizontal SiC SiC Wafer Boat Perahu wafer persegi horizontal SiC SiC Wafer Boat perahu wafer SiC LPCVD Silicon Carbide Wafer Boat for Horizontal Furnace Perahu pelat horizontal SiC SiC Ceramic Seal Ring Cincin Segel Keramik SiC


KOMPONEN PROSES Etch

Minimalkan kontaminasi dan pemeliharaan tak terjadwal dengan komponen dengan kemurnian tinggi yang dirancang untuk pemrosesan etsa plasma yang ketat, termasuk:

Cincin fokus

Nozel

Perisai

Pancuran

Jendela / Tutup

Komponen khusus lainnya


KOMPONEN PROSES TERMAL CEPAT & PROSES EPITAKSIAL

VeTek Semiconductor menyediakan komponen material canggih yang disesuaikan untuk aplikasi pemrosesan termal suhu tinggi di industri semikonduktor. Aplikasi ini mencakup RTP, proses Epi, difusi, oksidasi, dan anil. Keramik teknis kami dirancang untuk tahan terhadap guncangan termal, memberikan kinerja yang andal dan konsisten. Dengan komponen VeTek Semiconductor, produsen semikonduktor dapat mencapai pemrosesan termal yang efisien dan berkualitas tinggi, sehingga berkontribusi terhadap keberhasilan produksi semikonduktor secara keseluruhan.

• Diffuser

• Isolator

• Reseptor

• Komponen termal khusus lainnya


Sifat fisik Silikon Karbida Rekristalisasi
Milik Nilai Khas
Suhu kerja (°C) 1600°C (dengan oksigen), 1700°C (mengurangi lingkungan)
Konten SiC / SiC > 99,96%
Konten Si / Si Gratis < 0,1%
Kepadatan massal 2,60-2,70 gram/cm3
Porositas yang tampak < 16%
Kekuatan kompresi > 600 MPa
Kekuatan lentur dingin 80-90 MPa (20°C)
Kekuatan lentur panas 90-100 MPa (1400°C)
Ekspansi termal @1500°C 4,70 10-6/°C
Konduktivitas termal @1200°C 23  W/m·K
Modulus elastis 240 IPK
Ketahanan terhadap guncangan termal Sangat bagus


View as  
 
Tungku Tekan Panas Vakum Ikatan Kristal Biji Silikon Karbida

Tungku Tekan Panas Vakum Ikatan Kristal Biji Silikon Karbida

Teknologi pengikatan benih SiC adalah salah satu proses utama yang mempengaruhi pertumbuhan kristal. VETEK telah mengembangkan tungku pengepres panas vakum khusus untuk pengikatan benih berdasarkan karakteristik proses ini. Tungku dapat secara efektif mengurangi berbagai cacat yang ditimbulkan selama proses pengikatan benih, sehingga meningkatkan hasil dan kualitas akhir kristal ingot.
Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>
Perahu Kaset Silikon

Perahu Kaset Silikon

Silicon Cassette Boat dari Veteksemicon adalah pembawa wafer rekayasa presisi yang dikembangkan khusus untuk aplikasi tungku semikonduktor suhu tinggi, termasuk oksidasi, difusi, drive-in, dan anil. Dibuat dari silikon dengan kemurnian sangat tinggi dan diselesaikan dengan standar pengendalian kontaminasi tingkat lanjut, produk ini menyediakan platform yang stabil secara termal dan inert secara kimia yang sangat cocok dengan sifat wafer silikon itu sendiri. Penyelarasan ini meminimalkan tekanan termal, mengurangi pembentukan slip dan cacat, dan memastikan distribusi panas yang sangat seragam ke seluruh batch
Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>
Dayung Kantilever silikon karbida untuk Pengolahan Wafer

Dayung Kantilever silikon karbida untuk Pengolahan Wafer

Dayung Kantilever Silikon Karbida dari Veteksemicon dirancang untuk pemrosesan wafer tingkat lanjut dalam manufaktur semikonduktor. Terbuat dari SiC dengan kemurnian tinggi, ia memberikan stabilitas termal yang luar biasa, kekuatan mekanik yang unggul, dan ketahanan yang sangat baik terhadap suhu tinggi dan lingkungan korosif. Fitur-fitur ini memastikan penanganan wafer yang presisi, masa pakai yang lebih lama, dan kinerja yang andal dalam proses seperti MOCVD, epitaksi, dan difusi. Selamat datang untuk berkonsultasi.
Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>
Lengan robot silikon karbida

Lengan robot silikon karbida

Lengan robot Silicon Carbide (SIC) kami dirancang untuk penanganan wafer berkinerja tinggi di manufaktur semikonduktor canggih. Terbuat dari silikon karbida dengan kemurnian tinggi, lengan robot ini menawarkan resistensi luar biasa terhadap suhu tinggi, korosi plasma, dan serangan kimia, memastikan operasi yang andal di lingkungan kamar bersih yang menuntut. Kekuatan mekanik dan stabilitas dimensi yang luar biasa memungkinkan penanganan wafer yang tepat sambil meminimalkan risiko kontaminasi, menjadikannya pilihan yang ideal untuk MOCVD, epitaxy, implantasi ion, dan aplikasi penanganan wafer kritis lainnya. Kami menyambut pertanyaan Anda.
Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>
Silicon Carbide Sic Wafer Boat

Silicon Carbide Sic Wafer Boat

Perahu wafer veteksemicon sic banyak digunakan dalam proses suhu tinggi kritis dalam manufaktur semikonduktor, berfungsi sebagai pembawa yang andal untuk oksidasi, difusi, dan proses anil untuk sirkuit terintegrasi berbasis silikon. Mereka juga unggul di sektor semikonduktor generasi ketiga, sangat cocok untuk proses yang menuntut seperti pertumbuhan epitaxial (EPI) dan deposisi uap kimia logam-organik (MOCVD) untuk perangkat daya SIC dan GAN. Mereka juga mendukung fabrikasi suhu tinggi dari sel surya efisiensi tinggi di industri fotovoltaik. Menantikan konsultasi lebih lanjut Anda.
Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>
Sic Cantilever mendayung

Sic Cantilever mendayung

Veteksemicon sic cantilever dayung adalah lengan pendukung silikon karbida tinggi-kemurnian yang dirancang untuk penanganan wafer dalam tungku difusi horizontal dan reaktor epitaxial. Dengan konduktivitas termal yang luar biasa, ketahanan korosi, dan kekuatan mekanik, dayung ini memastikan stabilitas dan kebersihan dalam lingkungan semikonduktor yang menuntut. Tersedia dalam ukuran khusus dan dioptimalkan untuk umur layanan yang panjang.
Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>
Sebagai produsen dan pemasok profesional Keramik Silikon Karbida di Cina, kami memiliki pabrik kami sendiri. Apakah Anda memerlukan layanan khusus untuk memenuhi kebutuhan spesifik wilayah Anda atau ingin membeli Keramik Silikon Karbida lanjutan dan tahan lama yang dibuat di Cina, Anda dapat meninggalkan pesan kepada kami.
Rekomendasi Berita
Bahan apa yang digunakan dalam komponen keramik semikonduktor?
Bahan apa yang digunakan dalam komponen keramik semikonduktor?Lihat Lebih Banyak >>
Apa itu perahu kuarsa?
Apa itu perahu kuarsa?Lihat Lebih Banyak >>
Apa itu proses epikonduktor epikonduktor?
Apa itu proses epikonduktor epikonduktor?Lihat Lebih Banyak >>
Inovasi Teknologi CVD Di Balik Hadiah Nobel
Inovasi Teknologi CVD Di Balik Hadiah NobelLihat Lebih Banyak >>
Apa itu kerentanan grafit berlapis SIC?
Apa itu kerentanan grafit berlapis SIC?Lihat Lebih Banyak >>
Apa itu Dishing dan Erosi dalam Proses CMP?
Apa itu Dishing dan Erosi dalam Proses CMP?Lihat Lebih Banyak >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept