Produk

Keramik Silikon Karbida

VeTek Semiconductor adalah mitra inovatif Anda di bidang pemrosesan semikonduktor. Dengan portofolio kami yang luas untuk kombinasi material Keramik Silikon Karbida tingkat semikonduktor, kemampuan manufaktur komponen, dan layanan rekayasa aplikasi, kami dapat membantu Anda mengatasi tantangan yang signifikan. Teknik teknis Keramik Silikon Karbida banyak diterapkan di industri semikonduktor karena kinerja materialnya yang luar biasa. Keramik Silikon Karbida ultra-murni VeTek Semiconductor sering digunakan di seluruh siklus pembuatan dan pemrosesan semikonduktor.


PENGOLAHAN DIFUSI & LPCVD

VeTek Semiconductor menyediakan komponen keramik rekayasa yang dirancang khusus untuk difusi batch dan kebutuhan LPCVD termasuk:

• Penyekat & penahan
• Injektor
• Liner & tabung proses
• Dayung Kantilever Silikon Karbida
• Perahu wafer dan alasnya


KOMPONEN PROSES Etch

Minimalkan kontaminasi dan pemeliharaan tak terjadwal dengan komponen dengan kemurnian tinggi yang dirancang untuk pemrosesan etsa plasma yang ketat, termasuk:

Cincin fokus

Nozel

Perisai

Pancuran

Jendela / Tutup

Komponen khusus lainnya


KOMPONEN PROSES TERMAL CEPAT & PROSES EPITAKSIAL

VeTek Semiconductor menyediakan komponen material canggih yang disesuaikan untuk aplikasi pemrosesan termal suhu tinggi di industri semikonduktor. Aplikasi ini mencakup RTP, proses Epi, difusi, oksidasi, dan anil. Keramik teknis kami dirancang untuk tahan terhadap guncangan termal, memberikan kinerja yang andal dan konsisten. Dengan komponen VeTek Semiconductor, produsen semikonduktor dapat mencapai pemrosesan termal yang efisien dan berkualitas tinggi, sehingga berkontribusi terhadap keberhasilan produksi semikonduktor secara keseluruhan.

• Diffuser

• Isolator

• Reseptor

• Komponen termal khusus lainnya


Sifat fisik Silikon Karbida Rekristalisasi
Milik Nilai Khas
Suhu kerja (°C) 1600°C (dengan oksigen), 1700°C (mengurangi lingkungan)
Konten SiC / SiC > 99,96%
Konten Si / Si Gratis < 0,1%
Kepadatan massal 2,60-2,70 gram/cm3
Porositas yang tampak < 16%
Kekuatan kompresi > 600 MPa
Kekuatan lentur dingin 80-90 MPa (20°C)
Kekuatan lentur panas 90-100 MPa (1400°C)
Ekspansi termal @1500°C 4,70 10-6/°C
Konduktivitas termal @1200°C 23  W/m·K
Modulus elastis 240 IPK
Ketahanan terhadap guncangan termal Sangat bagus


View as  
 
Lengan robot silikon karbida

Lengan robot silikon karbida

Lengan robot Silicon Carbide (SIC) kami dirancang untuk penanganan wafer berkinerja tinggi di manufaktur semikonduktor canggih. Terbuat dari silikon karbida dengan kemurnian tinggi, lengan robot ini menawarkan resistensi luar biasa terhadap suhu tinggi, korosi plasma, dan serangan kimia, memastikan operasi yang andal di lingkungan kamar bersih yang menuntut. Kekuatan mekanik dan stabilitas dimensi yang luar biasa memungkinkan penanganan wafer yang tepat sambil meminimalkan risiko kontaminasi, menjadikannya pilihan yang ideal untuk MOCVD, epitaxy, implantasi ion, dan aplikasi penanganan wafer kritis lainnya. Kami menyambut pertanyaan Anda.
Silicon Carbide Sic Wafer Boat

Silicon Carbide Sic Wafer Boat

Perahu wafer veteksemicon sic banyak digunakan dalam proses suhu tinggi kritis dalam manufaktur semikonduktor, berfungsi sebagai pembawa yang andal untuk oksidasi, difusi, dan proses anil untuk sirkuit terintegrasi berbasis silikon. Mereka juga unggul di sektor semikonduktor generasi ketiga, sangat cocok untuk proses yang menuntut seperti pertumbuhan epitaxial (EPI) dan deposisi uap kimia logam-organik (MOCVD) untuk perangkat daya SIC dan GAN. Mereka juga mendukung fabrikasi suhu tinggi dari sel surya efisiensi tinggi di industri fotovoltaik. Menantikan konsultasi lebih lanjut Anda.
Sic Cantilever mendayung

Sic Cantilever mendayung

Veteksemicon sic cantilever dayung adalah lengan pendukung silikon karbida tinggi-kemurnian yang dirancang untuk penanganan wafer dalam tungku difusi horizontal dan reaktor epitaxial. Dengan konduktivitas termal yang luar biasa, ketahanan korosi, dan kekuatan mekanik, dayung ini memastikan stabilitas dan kebersihan dalam lingkungan semikonduktor yang menuntut. Tersedia dalam ukuran khusus dan dioptimalkan untuk umur layanan yang panjang.
Blok sic

Blok sic

Blok SIC Veteksemicon dirancang untuk penggilingan efisiensi tinggi dan penipisan silikon dan wafer safir. Dengan konduktivitas termal yang sangat baik (≥120 W/M · K), ketahanan guncangan termal yang tinggi, dan resistensi keausan superior (MOHS ≥9), blok kami meningkatkan stabilitas proses dan mengurangi frekuensi perubahan pahat. Tersedia dalam ukuran dari 120mm hingga 480mm, dengan opsi khusus dan pengiriman cepat untuk memenuhi kebutuhan produksi yang beragam.
Membran keramik sic

Membran keramik sic

Veteksemicon SIC Ceramics membran adalah jenis membran anorganik dan milik bahan membran padat dalam teknologi pemisahan membran. Membran SIC ditembakkan pada suhu di atas 2000 ℃. Permukaan partikel halus dan bulat. Tidak ada pori atau saluran tertutup di lapisan pendukung dan setiap lapisan. Mereka biasanya terdiri dari tiga lapisan dengan ukuran pori yang berbeda.
Pelat keramik sic berpori

Pelat keramik sic berpori

Pelat keramik SIC berpori kami adalah bahan keramik berpori yang terbuat dari silikon karbida sebagai komponen utama dan diproses oleh proses khusus. Mereka adalah bahan yang sangat diperlukan dalam manufaktur semikonduktor, deposisi uap kimia (CVD) dan proses lainnya.
Sebagai produsen dan pemasok profesional Keramik Silikon Karbida di Cina, kami memiliki pabrik kami sendiri. Apakah Anda memerlukan layanan khusus untuk memenuhi kebutuhan spesifik wilayah Anda atau ingin membeli Keramik Silikon Karbida lanjutan dan tahan lama yang dibuat di Cina, Anda dapat meninggalkan pesan kepada kami.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept