Kode QR

Tentang kami
Produk
Hubungi kami
Telepon
Fax
+86-579-87223657
Surel
Alamat
Jalan Wangda, Jalan Ziyang, Wilayah Wuyi, Kota Jinhua, Provinsi Zhejiang, Cina
VeTek Semiconductor adalah mitra inovatif Anda di bidang pemrosesan semikonduktor. Dengan portofolio kami yang luas untuk kombinasi material Keramik Silikon Karbida tingkat semikonduktor, kemampuan manufaktur komponen, dan layanan rekayasa aplikasi, kami dapat membantu Anda mengatasi tantangan yang signifikan. Teknik teknis Keramik Silikon Karbida banyak diterapkan di industri semikonduktor karena kinerja materialnya yang luar biasa. Keramik Silikon Karbida ultra-murni VeTek Semiconductor sering digunakan di seluruh siklus pembuatan dan pemrosesan semikonduktor.
VeTek Semiconductor menyediakan komponen keramik rekayasa yang dirancang khusus untuk difusi batch dan kebutuhan LPCVD termasuk:
• Penyekat & penahan
• Injektor
• Liner & tabung proses
• Dayung Kantilever Silikon Karbida
• Perahu wafer dan alasnya
Dayung Kantilever SiC
Tabung Proses SiC
Tabung Proses Silikon Karbida
perahu wafer vertikal SiC
perahu wafer horizontal SiC
Perahu wafer persegi horizontal SiC
perahu wafer SiC LPCVD
Perahu pelat horizontal SiC
Cincin Segel Keramik SiC
Minimalkan kontaminasi dan pemeliharaan tak terjadwal dengan komponen dengan kemurnian tinggi yang dirancang untuk pemrosesan etsa plasma yang ketat, termasuk:
Cincin fokus
Nozel
Perisai
Pancuran
Jendela / Tutup
Komponen khusus lainnya
VeTek Semiconductor menyediakan komponen material canggih yang disesuaikan untuk aplikasi pemrosesan termal suhu tinggi di industri semikonduktor. Aplikasi ini mencakup RTP, proses Epi, difusi, oksidasi, dan anil. Keramik teknis kami dirancang untuk tahan terhadap guncangan termal, memberikan kinerja yang andal dan konsisten. Dengan komponen VeTek Semiconductor, produsen semikonduktor dapat mencapai pemrosesan termal yang efisien dan berkualitas tinggi, sehingga berkontribusi terhadap keberhasilan produksi semikonduktor secara keseluruhan.
• Diffuser
• Isolator
• Reseptor
• Komponen termal khusus lainnya
Sifat fisik Silikon Karbida Rekristalisasi | |
Milik | Nilai Khas |
Suhu kerja (°C) | 1600°C (dengan oksigen), 1700°C (mengurangi lingkungan) |
Konten SiC / SiC | > 99,96% |
Konten Si / Si Gratis | < 0,1% |
Kepadatan massal | 2,60-2,70 gram/cm3 |
Porositas yang tampak | < 16% |
Kekuatan kompresi | > 600 MPa |
Kekuatan lentur dingin | 80-90 MPa (20°C) |
Kekuatan lentur panas | 90-100 MPa (1400°C) |
Ekspansi termal @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Konduktivitas termal @1200°C | 23 W/m·K |
Modulus elastis | 240 IPK |
Ketahanan terhadap guncangan termal | Sangat bagus |
+86-579-87223657
Jalan Wangda, Jalan Ziyang, Wilayah Wuyi, Kota Jinhua, Provinsi Zhejiang, Cina
Hak Cipta © 2024 VETEK Semiconductor Technology Co., Ltd. Semua hak dilindungi undang -undang.
Links | Sitemap | RSS | XML | Privacy Policy |