VeTek Semiconductor adalah mitra inovatif Anda di bidang pemrosesan semikonduktor. Dengan portofolio kami yang luas untuk kombinasi material Keramik Silikon Karbida tingkat semikonduktor, kemampuan manufaktur komponen, dan layanan rekayasa aplikasi, kami dapat membantu Anda mengatasi tantangan yang signifikan. Teknik teknis Keramik Silikon Karbida banyak diterapkan di industri semikonduktor karena kinerja materialnya yang luar biasa. Keramik Silikon Karbida ultra-murni VeTek Semiconductor sering digunakan di seluruh siklus pembuatan dan pemrosesan semikonduktor.
PENGOLAHAN DIFUSI & LPCVD
VeTek Semiconductor menyediakan komponen keramik rekayasa yang dirancang khusus untuk difusi batch dan kebutuhan LPCVD termasuk:
● Penyekat & penahan
● Injektor
● Liner & tabung proses
● Dayung Kantilever Silikon Karbida
● Perahu wafer dan alasnya
KOMPONEN PROSES Etch
Minimalkan kontaminasi dan pemeliharaan tak terjadwal dengan komponen dengan kemurnian tinggi yang dirancang untuk pemrosesan etsa plasma yang ketat, termasuk:
● Cincin fokus
● Nozel
● Perisai
● Pancuran
● Jendela / Penutup
● Komponen khusus lainnya
KOMPONEN PROSES TERMAL CEPAT & PROSES EPITAKSIAL
VeTek Semiconductor menyediakan komponen material canggih yang disesuaikan untuk aplikasi pemrosesan termal suhu tinggi di industri semikonduktor. Aplikasi ini mencakup RTP, proses Epi, difusi, oksidasi, dan anil. Keramik teknis kami dirancang untuk tahan terhadap guncangan termal, memberikan kinerja yang andal dan konsisten. Dengan komponen VeTek Semiconductor, produsen semikonduktor dapat mencapai pemrosesan termal yang efisien dan berkualitas tinggi, sehingga berkontribusi terhadap keberhasilan produksi semikonduktor secara keseluruhan.
● Diffuser
● Isolator
● Penerima
● Komponen termal khusus lainnya
Fitur Utama
● Kemurnian sangat tinggi: kandungan SiC >99,96%, silikon bebas <0,1%, meminimalkan kontaminasi logam.
● Kinerja suhu tinggi yang luar biasa: suhu kerja hingga 1600°C (oksidasi) / 1700°C (reduksi).
● Ketahanan guncangan termal yang unggul dan ekspansi termal yang rendah untuk kinerja yang andal dalam siklus termal yang cepat.
● Kekuatan mekanik yang tinggi (kompresi >600 MPa) dan kelembaman kimia terhadap gas proses dan plasma.
● Rangkaian produk komprehensif untuk proses difusi/LPCVD, etsa, RTP, dan epi — mulai dari perahu wafer hingga cincin fokus dan suku cadang khusus.
● Masa pakai yang lama dan pengurangan pembentukan partikel, membantu menurunkan frekuensi perawatan dan meningkatkan hasil.
Spesifikasi Produk
Sifat fisik Silikon Karbida Rekristalisasi
| Milik |
Nilai Khas |
| Suhu kerja (°C) |
1600°C (dengan oksigen), 1700°C (mengurangi lingkungan) |
| Konten SiC / SiC |
> 99,96% |
| Konten Si / Si Gratis |
< 0,1% |
| Kepadatan massal |
2,60-2,70 gram/cm³ |
| Porositas yang tampak |
< 16% |
| Kekuatan kompresi |
> 600 MPa |
| Kekuatan lentur dingin |
80-90 MPa (20°C) |
| Kekuatan lentur panas |
90-100 MPa (1400°C) |
| Ekspansi termal @1500°C |
4,70 × 10⁻⁶/°C |
| Konduktivitas termal @1200°C |
23 W/m·K |
| Modulus elastis |
240 IPK |
| Ketahanan terhadap guncangan termal |
Sangat bagus |
Aplikasi
Untuk memenuhi beragam kebutuhan proses semikonduktor, VeTek menawarkan produk Keramik Silikon Karbida yang ditargetkan. Tabel berikut mengklasifikasikannya berdasarkan area aplikasi utama:
| Bidang Aplikasi |
Produk Khas |
Deskripsi Aplikasi |
| Difusi & LPCVD |
perahu wafer SiC, dayung kantilever, tabung proses, liner, injektor,penyekat & penahan
|
Komponen SiC dengan kemurnian tinggi untuk difusi batch dan tungku LPCVD; stabilitas termal yang sangat baik dan ketahanan kimia hingga 1600–1700°C, kontaminasi rendah. |
| Proses Pengetsaan Plasma |
Cincin fokus, nozel, pelindung, pancuran, jendela/tutup, komponen etsa khusus |
Suku cadang SiC dengan kemurnian tinggi yang dirancang untuk lingkungan etsa plasma; meminimalkan pembentukan partikel dan pemeliharaan tidak terjadwal, ketahanan plasma yang unggul. |
| RTP / Epitaksial / Pemrosesan Termal |
kerentanan, diffuser, isolator, komponen termal khusus |
Komponen untuk RTP, epi, difusi, oksidasi dan anil; dirancang untuk menahan guncangan termal dan memberikan kinerja suhu tinggi yang konsisten. |
| Pertumbuhan Kristal SiC (PVT) |
Bubuk SiC dengan kemurnian tinggi,Bahan baku SiC CVD 7N, bagian terkait ikatan benih |
Bahan sumber SiC ultra-murni dan komponen pendukung untuk pertumbuhan kristal tunggal PVT SiC, meningkatkan hasil dan kualitas kristal. |
| Penanganan & Pengangkut Wafer |
Perahu wafer SiC vertikal/horizontal, perahu kaset silikon, tiang penyangga, cincin segel
|
Komponen pembawa dan penyegelan presisi yang memberikan keseragaman termal, stabilitas mekanis, dan kontaminasi minimal selama pemrosesan suhu tinggi. |
Untuk solusi pencocokan proses yang lebih rinci, silakan merujuk keTungku Oksidasi dan Difusihalaman terkait.
Sebagai produsen dan pemasok Keramik Silikon Karbida profesional di Cina, kami memiliki pabrik sendiri. Apakah Anda memerlukan layanan khusus untuk memenuhi kebutuhan spesifik wilayah Anda atau ingin membeli Keramik Silikon Karbida canggih dan tahan lama buatan Tiongkok, Anda bisatinggalkan pesan untuk kami.
