Silikon nitrida

1. Stabilitas kimia yang sangat baik

Keramik silikon nitrida memiliki stabilitas kimia yang sangat baik dan dapat menahan berbagai asam kuat, alkalis, dan gas korosif. Dalam proses manufaktur semikonduktor sering kali perlu berurusan dengan bahan kimia korosif, keramik silikon nitrida dapat memberikan jaminan kinerja stabil jangka panjang.

2. Sifat mekanik yang sangat baik

Keramik silikon nitrida memiliki kekerasan tinggi, kekuatan tekan yang sangat baik dan ketahanan aus, mampu menahan tegangan mekanis dan keausan permukaan, tidak mudah deformasi atau pecah. Properti mekanis ini membuatnya sangat cocok sebagai bahan untuk bagian struktural dan proses dalam peralatan semikonduktor.

3. Stabilitas suhu tinggi

Keramik silikon nitrida dapat mempertahankan stabilitas di lingkungan suhu tinggi, tidak mudah untuk melembutkan atau meleleh, dan dapat menahan pemrosesan dan penanganan suhu tinggi dalam proses manufaktur semikonduktor. Ini memungkinkannya untuk digunakan dalam pembuatan komponen kunci peralatan proses suhu tinggi, seperti grippers, komponen ruang reaksi dan sebagainya.

4. Properti isolasi yang sangat baik

Properti isolasi sangat penting dalam pembuatan perangkat semikonduktor. Keramik nitrida silikon memiliki sifat isolasi yang baik, yang secara efektif dapat mengisolasi dan melindungi komponen sirkuit dari kebocoran saat ini atau gangguan elektromagnetik, membantu meningkatkan stabilitas dan keandalan perangkat.

5. Konduktivitas Termal dan Konduktivitas Termal

Keramik silikon nitrida memiliki konduktivitas termal yang tinggi, dapat secara efektif melakukan dan menghilangkan panas yang dihasilkan oleh perangkat, membantu menjaga stabilitas suhu perangkat dalam proses operasi. Ini sangat penting untuk operasi kinerja tinggi perangkat semikonduktor.

1. Chucks elektrostatik dan komponen ruang etsa

Keramik nitrida silikon sering digunakan sebagai bahan untuk chuck elektrostatik dan komponen ruang etsa dalam manufaktur semikonduktor karena stabilitas kimianya yang sangat baik dan ketahanan suhu tinggi. Chuck elektrostatik digunakan untuk memperbaiki dan menstabilkan wafer atau substrat, sedangkan komponen ruang etsa digunakan untuk menahan gas korosif dan lingkungan suhu tinggi.

2. Pelat dan reflektor distribusi gas

Keramik silikon nitrida juga digunakan dalam pembuatan peralatan semikonduktor di pelat dan reflektor distribusi gas. Pelat distribusi gas digunakan untuk mendistribusikan gas reaktif atau pelindung secara seragam ke dalam ruang reaksi, sementara reflektor digunakan untuk mengoptimalkan distribusi dan refleksi cahaya dalam ruang reaksi untuk meningkatkan efisiensi dan keseragaman reaksi.

3. Pemegang dan Komponen Termal

Keramik silikon nitrida sering digunakan sebagai pemegang dan komponen manajemen termal dalam peralatan manufaktur semikonduktor. Komponen -komponen ini perlu memiliki kekuatan mekanik yang baik, ketahanan aus dan konduktivitas termal untuk memastikan operasi peralatan yang stabil dan akurasi pemrosesan perangkat.

4. Bantalan pemolesan mekanik kimia (CMP)

Keramik silikon nitrida banyak digunakan sebagai bahan pad dalam proses pemolesan mekanik kimia (CMP). Ini memiliki ketahanan dan ketahanan aus yang sangat baik, dan dapat memberikan dukungan yang stabil selama proses pemolesan untuk memastikan kerataan dan ketepatan permukaan wafer semikonduktor.