Lapisan Tantalum Karbida

Semikonduktor VeTek adalah produsen terkemuka bahan Pelapis Tantalum Karbida untuk industri semikonduktor. Penawaran produk utama kami meliputi komponen pelapis tantalum karbida CVD, komponen pelapis TaC sinter untuk pertumbuhan kristal SiC, atau proses epitaksi semikonduktor. Lulus ISO9001, VeTek Semiconductor memiliki kontrol kualitas yang baik. VeTek Semiconductor berdedikasi untuk menjadi inovator dalam industri Pelapisan Tantalum Karbida melalui penelitian berkelanjutan dan pengembangan teknologi berulang.

Produk utamanya adalahCincin Panduan Dilapisi TaC, Cincin pemandu tiga kelopak berlapis CVD TaC, Halfmoon Dilapisi Tantalum Karbida TaC, Suseptor epitaksi planetary SiC yang dilapisi CVD TaC, Cincin Pelapis Tantalum Karbida, Grafit Berpori Dilapisi Tantalum Karbida, Suseptor Rotasi Lapisan TaC, Cincin Tantalum Karbida, Pelat Rotasi Lapisan TaC, Suseptor wafer berlapis TaC, Cincin Deflektor Dilapisi TaC, Penutup Lapisan CVD TaC, Chuck Dilapisi TaCdll., kemurniannya di bawah 5ppm, dapat memenuhi kebutuhan pelanggan.

Grafit pelapis TaC dibuat dengan melapisi permukaan substrat grafit dengan kemurnian tinggi dengan lapisan halus tantalum karbida melalui proses Deposisi Uap Kimia (CVD) yang dipatenkan. Keuntungannya ditunjukkan pada gambar di bawah ini:

Excellent properties of TaC coating graphite

Lapisan tantalum karbida (TaC) telah mendapat perhatian karena titik lelehnya yang tinggi hingga 3880°C, kekuatan mekanik yang sangat baik, kekerasan, dan ketahanan terhadap guncangan termal, menjadikannya alternatif yang menarik untuk proses epitaksi semikonduktor majemuk dengan persyaratan suhu lebih tinggi, seperti sistem Aixtron MOCVD dan proses epitaksi LPE SiC. Ini juga memiliki aplikasi luas dalam proses pertumbuhan kristal SiC metode PVT.

Fitur Utama:

●Stabilitas suhu

●Kemurnian sangat tinggi

●Ketahanan terhadap H2, NH3, SiH4,Si

●Ketahanan terhadap stok termal

●Daya rekat kuat pada grafit

●Cakupan lapisan konformal

● Ukuran diameter hingga 750 mm (Satu-satunya pabrikan di China yang mencapai ukuran ini)

Aplikasi:

●Pembawa wafer

● Penerima pemanasan induktif

● Elemen pemanas resistif

●Disk satelit

●Kepala pancuran

●Cincin panduan

●Penerima Epi LED

●Nozel injeksi

●Cincin penyamaran

● Pelindung panas

Lapisan Tantalum karbida (TaC) pada penampang mikroskopis:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter Lapisan Tantalum Karbida Semikonduktor VeTek:

Sifat fisik lapisan TaC
Kepadatan	14,3 (g/cm³)
Emisivitas spesifik	0.3
Koefisien ekspansi termal	6.3 10^-6/K
Kekerasan (HK)	2000HK
Perlawanan	1×10^-5Ohm*cm
Stabilitas termal	<2500℃
Perubahan ukuran grafit	-10~-20um
Ketebalan lapisan	Nilai tipikal ≥20um (35um±10um)

Data EDX pelapisan TaC：

EDX data of TaC coating

Data struktur kristal pelapis TaC:

Elemen	Persen atom
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Rata-rata
CK	52.10	57.41	52.37	53.96
Mereka	47.90	42.59	47.63	46.04

Chuck Pelapis TaC Disk Planet Lapisan TaC
Pelat Dilapisi TaC Pelat Rotasi Lapisan TaC Penerima lapisan TaC Penutup lapisan CVD TaC Cincin Pelapis CVD TaC Pelat Pelapis TaC

View as

Cincin Dilapisi TAC untuk PVT Pertumbuhan SIC Single Crystal

Sebagai salah satu pemasok produk pelapis TAC terkemuka di Cina, Vetek Semiconductor mampu memberi pelanggan bagian khusus yang disesuaikan dengan pelapis TAC berkualitas tinggi. Cincin dilapisi TAC untuk pertumbuhan PVT dari SIC Single Crystal adalah salah satu produk Vetek Semiconductor yang paling menonjol dan matang. Ini memainkan peran penting dalam pertumbuhan PVT dari proses kristal SiC dan dapat membantu pelanggan menumbuhkan kristal SIC berkualitas tinggi. Menantikan pertanyaan Anda.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

CVD TAC Cincin Panduan Tiga-Petal Dilapisi

Vetek Semiconductor telah mengalami pengembangan teknologi bertahun -tahun dan telah menguasai teknologi proses terkemuka lapisan CVD TAC. CVD TAC TAC Tiga-Petal Guide Ring adalah salah satu produk pelapis CVD TAC yang paling matang dari Vetek Semiconductor dan merupakan komponen penting untuk menyiapkan kristal SIC dengan metode PVT. Dengan bantuan semikonduktor Vetek, saya percaya produksi kristal sic Anda akan lebih halus dan lebih efisien.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

Cincin pelapis tantalum carbide

Cincin pelapis semikonduktor vetek tantalum carbide adalah komponen yang sangat diperlukan dalam industri semikonduktor, khususnya dalam etsa wafer SiC. Kombinasi basis grafit dan pelapisan TAC memastikan kinerja yang unggul di lingkungan suhu tinggi dan agresif secara kimia. Dengan peningkatan stabilitas termal, ketahanan korosi, dan kekuatan mekanik, cincin yang dilapisi tantalum karbida membantu produsen semikonduktor mencapai presisi, keandalan, dan hasil berkualitas tinggi dalam proses produksinya.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

Cincin pelapis TAC

TaC Coating Ring adalah komponen berkinerja tinggi yang dirancang untuk digunakan dalam proses semikonduktor, TaC Coating Ring semikonduktor VeTek memiliki stabilitas termal yang tinggi, ketahanan terhadap korosi kimia, dan kekuatan mekanik yang sangat baik dan khusus digunakan untuk menahan dan menopang wafer SiC selama proses etsa, di mana kontrol yang presisi dan daya tahan sangat penting untuk menghasilkan wafer berkualitas tinggi. kami menantikan konsultasi Anda selanjutnya.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

TAC Coating Crucible

Sebagai pemasok dan produsen Crucible TAC Profesional TAC di China, Crucible TAC Coating Vetek Semiconductor memainkan peran yang tak tergantikan dalam proses pertumbuhan kristal tunggal semikonduktor dengan konduktivitas termal yang sangat baik, stabilitas kimia yang luar biasa dan peningkatan resistansi korosi. Selamat datang pertanyaan Anda lebih lanjut.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

Cincin pemandu yang dilapisi tantalum carbide

Sebagai pemasok dan produsen cincin pemandu pelapis TaC terkemuka di Tiongkok, cincin pemandu berlapis tantalum karbida Semikonduktor VeTek adalah komponen penting yang digunakan untuk memandu dan mengoptimalkan aliran gas reaktif dalam metode PVT (Physical Vapor Transport). Ini mendorong pengendapan kristal tunggal SiC yang seragam di zona pertumbuhan dengan menyesuaikan distribusi dan kecepatan aliran gas. VeTek Semiconductor adalah produsen dan pemasok cincin panduan pelapisan TaC terkemuka di Cina dan bahkan di dunia, dan kami menantikan konsultasi Anda.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

Sebagai produsen dan pemasok profesional Lapisan Tantalum Karbida di Cina, kami memiliki pabrik kami sendiri. Apakah Anda memerlukan layanan khusus untuk memenuhi kebutuhan spesifik wilayah Anda atau ingin membeli Lapisan Tantalum Karbida lanjutan dan tahan lama yang dibuat di Cina, Anda dapat meninggalkan pesan kepada kami.

Kode QR

Tentang kami

Produk

Hubungi kami

Telepon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
Surel
anny@veteksemi.com
Alamat
Jalan Wangda, Jalan Ziyang, Wilayah Wuyi, Kota Jinhua, Provinsi Zhejiang, Cina

Menu Web

Pencarian Produk

Bahasa

Menu Keluar

Lapisan Tantalum Karbida

Fitur Utama:

Aplikasi:

Lapisan Tantalum karbida (TaC) pada penampang mikroskopis:

Parameter Lapisan Tantalum Karbida Semikonduktor VeTek:

Data EDX pelapisan TaC：

Data struktur kristal pelapis TaC:

Cincin Dilapisi TAC untuk PVT Pertumbuhan SIC Single Crystal

CVD TAC Cincin Panduan Tiga-Petal Dilapisi

Cincin pelapis tantalum carbide

Cincin pelapis TAC

TAC Coating Crucible

Cincin pemandu yang dilapisi tantalum carbide

mengirimkan permintaan

Kode QR

Tentang kami

Produk

Hubungi kami

Telepon

Fax

Surel

Alamat