Menu Web

Pencarian Produk

Bahasa

Produk

Lapisan Tantalum Karbida

Semikonduktor VeTek adalah produsen terkemuka bahan Pelapis Tantalum Karbida untuk industri semikonduktor. Penawaran produk utama kami meliputi komponen pelapis tantalum karbida CVD, komponen pelapis TaC sinter untuk pertumbuhan kristal SiC, atau proses epitaksi semikonduktor. Lulus ISO9001, VeTek Semiconductor memiliki kontrol kualitas yang baik. VeTek Semiconductor berdedikasi untuk menjadi inovator dalam industri Pelapisan Tantalum Karbida melalui penelitian berkelanjutan dan pengembangan teknologi berulang.


Produk utamanya adalahCincin Panduan Dilapisi TaC, Cincin pemandu tiga kelopak berlapis CVD TaC, Halfmoon Dilapisi Tantalum Karbida TaC, Suseptor epitaksi planetary SiC yang dilapisi CVD TaC, Cincin Pelapis Tantalum Karbida, Grafit Berpori Dilapisi Tantalum Karbida, Suseptor Rotasi Lapisan TaC, Cincin Tantalum Karbida, Pelat Rotasi Lapisan TaC, Suseptor wafer berlapis TaC, Cincin Deflektor Dilapisi TaC, Penutup Lapisan CVD TaC, Chuck Dilapisi TaCdll., kemurniannya di bawah 5ppm, dapat memenuhi kebutuhan pelanggan.


Grafit pelapis TaC dibuat dengan melapisi permukaan substrat grafit dengan kemurnian tinggi dengan lapisan halus tantalum karbida melalui proses Deposisi Uap Kimia (CVD) yang dipatenkan. Keuntungannya ditunjukkan pada gambar di bawah ini:


Excellent properties of TaC coating graphite


Lapisan tantalum karbida (TaC) telah mendapat perhatian karena titik lelehnya yang tinggi hingga 3880°C, kekuatan mekanik yang sangat baik, kekerasan, dan ketahanan terhadap guncangan termal, menjadikannya alternatif yang menarik untuk proses epitaksi semikonduktor majemuk dengan persyaratan suhu lebih tinggi, seperti sistem Aixtron MOCVD dan proses epitaksi LPE SiC. Ini juga memiliki aplikasi luas dalam proses pertumbuhan kristal SiC metode PVT.


Fitur Utama:

 ●Stabilitas suhu

 ●Kemurnian sangat tinggi

 ●Ketahanan terhadap H2, NH3, SiH4,Si

 ●Ketahanan terhadap stok termal

 ●Daya rekat kuat pada grafit

 ●Cakupan lapisan konformal

 ● Ukuran diameter hingga 750 mm (Satu-satunya pabrikan di China yang mencapai ukuran ini)


Aplikasi:

 ●Pembawa wafer

 ● Penerima pemanasan induktif

 ● Elemen pemanas resistif

 ●Disk satelit

 ●Kepala pancuran

 ●Cincin panduan

 ●Penerima Epi LED

 ●Nozel injeksi

 ●Cincin penyamaran

 ● Pelindung panas


Lapisan Tantalum karbida (TaC) pada penampang mikroskopis:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parameter Lapisan Tantalum Karbida Semikonduktor VeTek:

Sifat fisik lapisan TaC
Kepadatan 14,3 (g/cm³)
Emisivitas spesifik 0.3
Koefisien ekspansi termal 6.3 10-6/K
Kekerasan (HK) 2000HK
Perlawanan 1×10-5Ohm*cm
Stabilitas termal <2500℃
Perubahan ukuran grafit -10~-20um
Ketebalan lapisan Nilai tipikal ≥20um (35um±10um)


Data EDX pelapisan TaC：

EDX data of TaC coating


Data struktur kristal pelapis TaC:

Elemen Persen atom
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Rata-rata
CK 52.10 57.41 52.37 53.96
Mereka 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Cincin panduan grafit berlapis TAC

Cincin panduan grafit berlapis TAC

Cincin panduan grafit berlapis TAC kami adalah komponen inti presisi untuk manufaktur wafer semikonduktor. Mereka menampilkan substrat grafit dengan kemurnian tinggi yang dilapisi dengan lapisan tantalum carbide (TAC) yang tahan aus dan kimia. Dirancang untuk proses yang menuntut seperti deposisi epitaxial dan etsa plasma, mereka memastikan keselarasan dan stabilitas wafer yang tepat, secara efektif mengontrol kontaminasi, dan secara signifikan memperpanjang umur komponen. Veteksemicon menawarkan layanan penyesuaian agar sesuai dengan persyaratan peralatan dan proses Anda dengan sempurna.
Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>
Cincin Dilapisi TAC untuk PVT Pertumbuhan SIC Single Crystal

Cincin Dilapisi TAC untuk PVT Pertumbuhan SIC Single Crystal

Sebagai salah satu pemasok produk pelapis TAC terkemuka di Cina, Vetek Semiconductor mampu memberi pelanggan bagian khusus yang disesuaikan dengan pelapis TAC berkualitas tinggi. Cincin dilapisi TAC untuk pertumbuhan PVT dari SIC Single Crystal adalah salah satu produk Vetek Semiconductor yang paling menonjol dan matang. Ini memainkan peran penting dalam pertumbuhan PVT dari proses kristal SiC dan dapat membantu pelanggan menumbuhkan kristal SIC berkualitas tinggi. Menantikan pertanyaan Anda.
Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>
CVD TAC Cincin Panduan Tiga-Petal Dilapisi

CVD TAC Cincin Panduan Tiga-Petal Dilapisi

Vetek Semiconductor telah mengalami pengembangan teknologi bertahun -tahun dan telah menguasai teknologi proses terkemuka lapisan CVD TAC. CVD TAC TAC Tiga-Petal Guide Ring adalah salah satu produk pelapis CVD TAC yang paling matang dari Vetek Semiconductor dan merupakan komponen penting untuk menyiapkan kristal SIC dengan metode PVT. Dengan bantuan semikonduktor Vetek, saya percaya produksi kristal sic Anda akan lebih halus dan lebih efisien.
Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>
Cincin pelapis tantalum carbide

Cincin pelapis tantalum carbide

Cincin pelapis semikonduktor vetek tantalum carbide adalah komponen yang sangat diperlukan dalam industri semikonduktor, khususnya dalam etsa wafer SiC. Kombinasi basis grafit dan pelapisan TAC memastikan kinerja yang unggul di lingkungan suhu tinggi dan agresif secara kimia. Dengan peningkatan stabilitas termal, ketahanan korosi, dan kekuatan mekanik, cincin yang dilapisi tantalum karbida membantu produsen semikonduktor mencapai presisi, keandalan, dan hasil berkualitas tinggi dalam proses produksinya.
Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>
Cincin pelapis TAC

Cincin pelapis TAC

TaC Coating Ring adalah komponen berkinerja tinggi yang dirancang untuk digunakan dalam proses semikonduktor, TaC Coating Ring semikonduktor VeTek memiliki stabilitas termal yang tinggi, ketahanan terhadap korosi kimia, dan kekuatan mekanik yang sangat baik dan khusus digunakan untuk menahan dan menopang wafer SiC selama proses etsa, di mana kontrol yang presisi dan daya tahan sangat penting untuk menghasilkan wafer berkualitas tinggi. kami menantikan konsultasi Anda selanjutnya.
Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>
TAC Coating Crucible

TAC Coating Crucible

Sebagai pemasok dan produsen Crucible TAC Profesional TAC di China, Crucible TAC Coating Vetek Semiconductor memainkan peran yang tak tergantikan dalam proses pertumbuhan kristal tunggal semikonduktor dengan konduktivitas termal yang sangat baik, stabilitas kimia yang luar biasa dan peningkatan resistansi korosi. Selamat datang pertanyaan Anda lebih lanjut.
Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>
Sebagai produsen dan pemasok profesional Lapisan Tantalum Karbida di Cina, kami memiliki pabrik kami sendiri. Apakah Anda memerlukan layanan khusus untuk memenuhi kebutuhan spesifik wilayah Anda atau ingin membeli Lapisan Tantalum Karbida lanjutan dan tahan lama yang dibuat di Cina, Anda dapat meninggalkan pesan kepada kami.
Rekomendasi Berita
Mengapa lapisan Tantalum carbide (TAC) lebih unggul dari lapisan silikon karbida (sic) dalam pertumbuhan kristal tunggal SiC? - Vetek Semiconductor
Mengapa lapisan Tantalum carbide (TAC) lebih unggul dari lapisan silikon karbida (sic) dalam pertumbuhan kristal tunggal SiC? - Vetek SemiconductorLihat Lebih Banyak >>
Penelitian Proses Epitaxial dan Homoepitaxial 8-inci
Penelitian Proses Epitaxial dan Homoepitaxial 8-inciLihat Lebih Banyak >>
Penerapan komponen kuarsa dalam peralatan semikonduktor
Penerapan komponen kuarsa dalam peralatan semikonduktorLihat Lebih Banyak >>
Sejarah Perkembangan 3C SiC
Sejarah Perkembangan 3C SiCLihat Lebih Banyak >>
Apa industri semikonduktor generasi ketiga?
Apa industri semikonduktor generasi ketiga?Lihat Lebih Banyak >>
Penggunaan silikon karbida padat
Penggunaan silikon karbida padatLihat Lebih Banyak >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept