Produk

Cawan lebur kuarsa tingkat semikonduktor Veteksemicon adalah bahan habis pakai utama dalam proses pertumbuhan kristal tunggal Czochralski. Dengan kemurnian ekstrim dan stabilitas termal yang unggul sebagai fokus utama kami, kami berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas tinggi kepada pelanggan yang menunjukkan kinerja stabil dan ketahanan yang sangat baik terhadap kristalisasi di lingkungan suhu tinggi dan tekanan tinggi. Hal ini memastikan kualitas batang kristal dari sumbernya, membantu pembuatan wafer silikon semikonduktor mencapai hasil yang lebih tinggi dan efektivitas biaya yang lebih baik.

Cincin fokus Veteksemicon dirancang khusus untuk peralatan etsa semikonduktor yang menuntut, khususnya aplikasi etsa SiC. Dipasang di sekitar pencekam elektrostatis (ESC), di dekat wafer, fungsi utamanya adalah mengoptimalkan distribusi medan elektromagnetik di dalam ruang reaksi, memastikan aksi plasma seragam dan terfokus di seluruh permukaan wafer. Cincin fokus berperforma tinggi secara signifikan meningkatkan keseragaman tingkat etsa dan mengurangi efek tepi, sehingga secara langsung meningkatkan hasil produk dan efisiensi produksi.

Pelat Pembawa Silikon Karbida Veteksemicon Untuk Etsa LED, yang dirancang khusus untuk pembuatan chip LED, adalah bahan habis pakai inti dalam proses etsa. Terbuat dari silikon karbida kemurnian tinggi yang disinter secara presisi, ia menawarkan ketahanan kimia yang luar biasa dan stabilitas dimensi suhu tinggi, secara efektif menahan korosi dari asam kuat, basa, dan plasma. Sifat kontaminasinya yang rendah memastikan hasil yang tinggi untuk wafer epitaksi LED, sementara daya tahannya, jauh melebihi bahan tradisional, membantu pelanggan mengurangi biaya pengoperasian secara keseluruhan, menjadikannya pilihan yang dapat diandalkan untuk meningkatkan efisiensi dan konsistensi proses etsa.

Perahu grafit Veteksemicon untuk PECVD dibuat dengan mesin presisi dari grafit dengan kemurnian tinggi dan dirancang khusus untuk proses pengendapan uap kimia yang ditingkatkan plasma. Memanfaatkan pemahaman mendalam kami tentang material medan termal semikonduktor dan kemampuan pemesinan presisi, kami menawarkan perahu grafit dengan stabilitas termal yang luar biasa, konduktivitas yang sangat baik, dan masa pakai yang lama. Perahu-perahu ini dirancang untuk memastikan deposisi film tipis yang sangat seragam di setiap wafer dalam lingkungan proses PECVD yang menuntut, sehingga meningkatkan hasil proses dan produktivitas.

Cincin Grafit Berlapis TaC CVD oleh Veteksemicon dirancang untuk memenuhi tuntutan ekstrem pemrosesan wafer semikonduktor. Memanfaatkan teknologi Deposisi Uap Kimia (CVD), lapisan Tantalum Carbide (TaC) yang padat dan seragam diterapkan pada substrat grafit dengan kemurnian tinggi, sehingga menghasilkan kekerasan, ketahanan aus, dan kelembaman kimia yang luar biasa. Dalam fabrikasi semikonduktor, Cincin Grafit Dilapisi CVD TaC banyak digunakan dalam MOCVD, etsa, difusi, dan ruang pertumbuhan epitaksi, berfungsi sebagai komponen struktural atau penyegelan utama untuk pembawa wafer, susceptor, dan rakitan pelindung. Menantikan konsultasi Anda selanjutnya.

Cincin grafit berlapis TaC berpori yang diproduksi oleh VETEK menggunakan substrat grafit berpori ringan dan dilapisi dengan lapisan tantalum karbida dengan kemurnian tinggi, memiliki ketahanan yang sangat baik terhadap suhu tinggi, gas korosif, dan erosi plasma