Sic berpori

Vetek Semiconductor adalah produsen terkemuka keramik SIC berpori untuk industri semikonduktor. Lulus ISO9001, Vetek Semiconductor memiliki kontrol yang baik pada kualitas. Vetek Semiconductor selalu berkomitmen untuk menjadi inovator dan pemimpin dalam industri keramik SIC berpori.

Cakram keramik sic berpori

Keramik SIC berpori adalah bahan keramik yang ditembakkan pada suhu tinggi dan memiliki sejumlah besar pori -pori yang saling berhubungan atau tertutup di dalamnya. Ini juga dikenal sebagai cangkir hisap vakum mikro, dengan ukuran pori mulai dari 2 hingga 100um.

Keramik SIC berpori telah banyak digunakan dalam metalurgi, industri kimia, perlindungan lingkungan, biologi, semikonduktor dan bidang lainnya. Keramik SIC berpori dapat disiapkan dengan metode berbusa, metode gel sol, metode casting pita, metode sintering yang solid dan metode pirolisis impregnasi.

Persiapan Keramik SIC Berpori Dengan Metode Sintering

Sifat keramik silikon karbida berpori yang disiapkan dengan metode yang berbeda sebagai fungsi porositas

Cangkir Pengisap Keramik SIC Berpori dalam Fabrikasi Wafer Semikonduktor

Keramik SIC berpori semikonduktor Vetek memainkan peran penjepit dan membawa wafer dalam produksi semikonduktor. Mereka padat dan seragam, kekuatan tinggi, bagus dalam permeabilitas udara, dan seragam dalam adsorpsi.

Mereka secara efektif mengatasi banyak masalah sulit seperti indentasi wafer dan kerusakan elektrostatik chip, dan membantu mencapai pemrosesan wafer berkualitas tinggi.

Diagram Kerja Keramik SIC Berpori:

Prinsip Kerja Keramik SIC Berpori: Wafer silikon ditetapkan oleh prinsip adsorpsi vakum. Selama pemrosesan, lubang -lubang kecil pada keramik SIC berpori digunakan untuk mengekstrak udara antara wafer silikon dan permukaan keramik, sehingga wafer silikon dan permukaan keramik berada pada tekanan rendah, sehingga memperbaiki wafer silikon.

Setelah diproses, air plasma mengalir keluar dari lubang untuk mencegah wafer silikon melekat pada permukaan keramik, dan pada saat yang sama, wafer silikon dan permukaan keramik dibersihkan.

Mikrostruktur keramik sic berpori

Sorotan Sorot dan Fitur:

● Resistensi suhu tinggi

● Resistensi terhadap keausan

● Resistensi kimia

● Kekuatan mekanik yang tinggi

● Mudah beregenerasi

● Resistensi kejut termal yang sangat baik

barang	satuan	Keramik SIC berpori
Diameter pori	satu	10 ~ 30
Kepadatan	g / cm3	1.2 ~ 1.3
Permukaan Roughness	satu	2.5 ~ 3
Nilai penyerapan udara	KPA	-45
Kekuatan lentur	MPa	30
Konstanta dielektrik	1MHz	33
Konduktivitas termal	W/(m · k)	60 ~ 70

Ada beberapa persyaratan tinggi untuk keramik SIC berpori:

1. Adsorpsi vakum yang kuat

2. Kerataan sangat penting, jika tidak akan ada masalah selama operasi

3. Tidak ada deformasi dan tidak ada kotoran logam

Oleh karena itu, nilai penyerapan udara dari keramik SIC semikonduktor Vetek mencapai -45 kPa. Pada saat yang sama, mereka marah pada 1200 ℃ selama 1,5 jam sebelum meninggalkan pabrik untuk menghilangkan kotoran dan dikemas dalam kantong vakum.

Keramik SIC berpori banyak digunakan dalam teknologi pemrosesan wafer, transfer dan tautan lainnya. Mereka telah membuat pencapaian besar dalam ikatan, dicar, pemasangan, pemolesan, dan tautan lainnya.