Berita Industri

​Pertumbuhan PVT silikon karbida (SiC) melibatkan siklus termal yang parah (suhu ruangan di atas 2200 ℃). Tekanan termal yang sangat besar yang dihasilkan antara lapisan dan substrat grafit karena ketidaksesuaian dalam koefisien ekspansi termal (CTE) merupakan tantangan utama yang menentukan masa pakai lapisan dan keandalan aplikasi.

​Dalam proses pertumbuhan kristal PVT silikon karbida (SiC), stabilitas dan keseragaman medan termal secara langsung menentukan laju pertumbuhan kristal, kepadatan cacat, dan keseragaman material. Sebagai batas sistem, komponen medan termal menunjukkan sifat termofisika permukaan yang fluktuasi kecilnya diperkuat secara dramatis pada kondisi suhu tinggi, yang pada akhirnya menyebabkan ketidakstabilan pada antarmuka pertumbuhan.

Dalam proses menumbuhkan kristal silikon karbida (SiC) melalui metode Pengangkutan Uap Fisik (PVT), suhu yang sangat tinggi antara 2000–2500 °C adalah “pedang bermata dua” — selain mendorong sublimasi dan pengangkutan bahan sumber, suhu tersebut juga secara dramatis meningkatkan pelepasan pengotor dari semua bahan dalam sistem medan termal, terutama elemen logam jejak yang terkandung dalam komponen zona panas grafit konvensional. Begitu pengotor ini memasuki antarmuka pertumbuhan, mereka akan langsung merusak kualitas inti kristal. Inilah alasan mendasar mengapa pelapisan tantalum karbida (TaC) telah menjadi “pilihan wajib” dan bukan “pilihan opsional” untuk pertumbuhan kristal PVT.

Di Veteksemicon, kami menghadapi tantangan ini setiap hari, mengkhususkan diri dalam mengubah Keramik Aluminium Oksida canggih menjadi solusi yang memenuhi spesifikasi yang tepat. Memahami metode pemesinan dan pemrosesan yang tepat sangatlah penting, karena pendekatan yang salah dapat menyebabkan pemborosan yang mahal dan kegagalan komponen. Mari jelajahi teknik profesional yang memungkinkan hal ini.

Memasukkan CO₂ ke dalam air cetakan dadu selama pemotongan wafer merupakan tindakan proses yang efektif untuk menekan penumpukan muatan statis dan menurunkan risiko kontaminasi, sehingga meningkatkan hasil cetakan dadu dan keandalan chip jangka panjang.

Wafer silikon adalah dasar dari sirkuit terpadu dan perangkat semikonduktor. Mereka memiliki ciri yang menarik - tepi datar atau lekukan kecil di sisinya. Ini bukan cacat, melainkan penanda fungsional yang sengaja dirancang. Faktanya, takik ini berfungsi sebagai acuan arah dan penanda identitas di seluruh proses produksi.