Berita

Veteksemicon bersinar di Pameran Internasional Shanghai SEMICON 2025, memimpin masa depan industri semikonduktor dengan teknologi inovatif

Dalam industri manufaktur semikonduktor, karena ukuran perangkat terus menyusut, teknologi deposisi bahan film tipis telah menimbulkan tantangan yang belum pernah terjadi sebelumnya. Atomic Layer Deposition (ALD), sebagai teknologi deposisi film tipis yang dapat mencapai kontrol yang tepat pada tingkat atom, telah menjadi bagian yang sangat diperlukan dari manufaktur semikonduktor. Artikel ini bertujuan untuk memperkenalkan aliran proses dan prinsip -prinsip ALD untuk membantu memahami peran pentingnya dalam manufaktur chip canggih.

Sangat ideal untuk membangun sirkuit terpadu atau perangkat semikonduktor pada lapisan dasar kristal yang sempurna. Proses epitaksi (epi) dalam pembuatan semikonduktor bertujuan untuk mendepositkan lapisan kristal tunggal yang halus, biasanya sekitar 0,5 hingga 20 mikron, pada substrat kristal tunggal. Proses epitaksi merupakan langkah penting dalam pembuatan perangkat semikonduktor, khususnya dalam pembuatan wafer silikon.