Berita

Kemurnian tinggi: Lapisan epitaksi silikon yang ditumbuhkan dengan deposisi uap kimia (CVD) memiliki kemurnian yang sangat tinggi, kerataan permukaan yang lebih baik, dan kepadatan cacat yang lebih rendah dibandingkan wafer tradisional.

Solid silicon carbide (SIC) telah menjadi salah satu bahan utama dalam manufaktur semikonduktor karena sifat fisiknya yang unik. Berikut ini adalah analisis keunggulan dan nilai praktisnya berdasarkan sifat fisiknya dan aplikasi spesifiknya dalam peralatan semikonduktor (seperti pembawa wafer, kepala shower, cincin fokus etsa, dll.).