Berita

Quartz Boat adalah komponen bantalan beban utama yang digunakan dalam proses pembuatan semikonduktor. Ini terutama digunakan untuk pemrosesan wafer suhu tinggi, seperti difusi, oksidasi dan anil. Stabilitas termal yang sangat baik, karakteristik polusi rendah dan resistensi korosi menjadikannya bahan yang sangat diperlukan dalam industri semikonduktor. Artikel ini akan menguraikan materi, sifat fisik, klasifikasi, skenario aplikasi perahu kuarsa dan perbedaannya dari perahu grafit PECVD.

Bahan inti dari perahu grafit PECVD adalah bahan grafit isotropik dengan kemurnian tinggi (kemurnian biasanya ≥99,999%), yang memiliki konduktivitas listrik yang sangat baik, konduktivitas termal dan kepadatan. Dibandingkan dengan kapal grafit biasa, perahu grafit PECVD memiliki banyak keunggulan properti fisik dan kimia dan terutama digunakan dalam industri semikonduktor dan fotovoltaik, terutama dalam proses PECVD dan CVD.

Baki grafit MOCVD memainkan peran penting dalam proses epitaxial. Artikel ini membuat analisis terperinci tentang pemilihan baki grafit MOCVD dari perspektif sifat material dan skenario aplikasi.