Dayung Sic Cantilever Kemurnian Tinggi

Dayung Kantilever SIC Purity Tinggi adalah komponen kunci yang digunakan dalam peralatan pemrosesan semikonduktor. Produk ini terbuat dari bahan silikon karbida (sic) dengan kemurnian tinggi.  Pelanggan dapat dengan bebas memilih materi SIC yang disinter atau materi SIC yang direkristal. Dengan bantuan karakteristik yang sangat baik dari kemurnian tinggi, stabilitas termal tinggi dan ketahanan korosi, ini banyak digunakan dalam proses seperti transfer wafer, dukungan dan pemrosesan suhu tinggi, memberikan jaminan yang andal untuk memastikan akurasi proses dan kualitas produk.

Dayung Kantilever SIC Purity Tinggi memainkan peran spesifik berikut dalam proses pemrosesan semikonduktor:

Transfer wafer: Dayung SIC Cantilever kemurnian tinggi biasanya digunakan sebagai perangkat transfer wafer dalam difusi suhu tinggi atau tungku oksidasi. Kekerasannya yang tinggi membuatnya tahan aus dan tidak mudah untuk cacat selama penggunaan jangka panjang, dan dapat memastikan bahwa wafer tetap diposisikan secara akurat selama proses transfer. Dikombinasikan dengan suhu tinggi dan ketahanan korosi, ia dapat dengan aman mentransfer wafer masuk dan keluar dari tabung tungku di lingkungan suhu tinggi tanpa menyebabkan kontaminasi atau kerusakan pada wafer.

Dukungan wafer: Bahan SiC memiliki koefisien ekspansi termal yang rendah, yang berarti ukurannya berubah lebih sedikit ketika suhu berubah, yang membantu mempertahankan kontrol yang tepat dalam proses. Dalam proses uap kimia (CVD) atau proses deposisi uap fisik (PVD), dayung cantilever sic digunakan untuk mendukung dan memperbaiki wafer untuk memastikan bahwa wafer tetap stabil dan datar selama proses deposisi, sehingga meningkatkan keseragaman dan kualitas film.

Penerapan proses suhu tinggi: SIC Cantilever Paddle memiliki stabilitas termal yang sangat baik dan dapat menahan suhu hingga 1600 ° C. Oleh karena itu, produk ini banyak digunakan dalam anil suhu tinggi, oksidasi, difusi dan proses lainnya.

Sifat fisik dasar dari dayung cantilever kemurnian tinggi:

Dayung Sic Cantilever Kemurnian Tinggitoko:

Tinjauan Umum Rantai Industri Epitaxy Chip Semikonduktor: