Produk
CVD SIC COATING EPITAXY RUMN
  • CVD SIC COATING EPITAXY RUMNCVD SIC COATING EPITAXY RUMN
  • CVD SIC COATING EPITAXY RUMNCVD SIC COATING EPITAXY RUMN

CVD SIC COATING EPITAXY RUMN

Vetek CVD SIC COCING COATING EPITAXY RUMNED adalah alat rekayasa presisi yang dirancang untuk penanganan dan pemrosesan wafer semikonduktor. Kerentanan epitaxy pelapisan sic ini memainkan peran penting dalam mempromosikan pertumbuhan film tipis, epilayer, dan pelapis lainnya, dan secara tepat mengontrol suhu dan sifat material. Selamat datang pertanyaan Anda lebih lanjut.

Veteksemicon's CVD SIC Coating Epitaxy Ronsceptor adalah alat rekayasa presisi yang dirancang untuk pemrosesan wafer semikonduktor. Kerentanan epitaxy pelapisan sic ini memainkan peran penting dalam mempromosikan pertumbuhan film tipis, epilayer, dan pelapis lainnya, dan secara tepat mengontrol suhu dan sifat material. Selamat datang pertanyaan Anda lebih lanjut.



DasarSifat fisik pelapis CVD SIC:

Sifat fisik dasar pelapisan cvd sic
Milik
Nilai khas
Struktur kristal
FCC β fase polikristalin, terutama (111) berorientasi
Kepadatan
3.21 g/cm³
Kekerasan
2500 kekerasan Vickers (500g Load)
Ukuran biji -bijian
2 ~ 10mm
Kemurnian Kimia
99.99995%
Kapasitas panas
640 J · kg-1· K-1
Suhu sublimasi
2700 ℃
Kekuatan lentur
415 MPa RT 4-poin
Modulus Young
430 IPK 4PT Bend, 1300 ℃
Konduktivitas termal
300W · m-1· K-1
Ekspansi Termal (CTE)
4,5 × 10-6K-1

CVD SIC COATING EPITAXY RENCEPTOR PRODUK PRODUK:


● Deposisi yang tepat: Kerentanan menggabungkan substrat grafit yang sangat termal dengan lapisan SIC untuk menyediakan platform dukungan yang stabil untuk substrat (seperti safir, sic atau gan). Konduktivitas termal yang tinggi (seperti SIC sekitar 120 W/M · K) dapat dengan cepat mentransfer panas dan memastikan distribusi suhu yang seragam pada permukaan substrat, sehingga mendorong pertumbuhan berkualitas tinggi dari lapisan epitaxial.

● Berkurangnya kontaminasi: Lapisan SIC yang disiapkan oleh proses CVD memiliki kemurnian yang sangat tinggi (kandungan pengotor <5 ppm) dan sangat tahan terhadap gas korosif (seperti CL₂, NH₃), menghindari kontaminasi lapisan epitaxial.

● Daya tahan: Kekerasan tinggi SIC (kekerasan MOHS 9.5) dan resistensi keausan mengurangi kehilangan mekanis basis selama penggunaan berulang dan cocok untuk proses produksi semikonduktor frekuensi tinggi.



Veteksemicon berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas tinggi dan harga yang kompetitif. Kami berharap untuk menjadi mitra jangka panjang Anda di China.


Itu semikonduktor Toko Produk:

graphite-epi-susceptormocvd-led-epi-susceptorgraphite-epitaxygraphite-epitaxy-susceptor


Tag Panas: CVD SIC COATING EPITAXY RUMN
mengirimkan permintaan
Info kontak
Untuk pertanyaan tentang Lapisan Silikon Karbida, Lapisan Tantalum Karbida, Grafit Khusus atau daftar harga, silakan tinggalkan email Anda kepada kami dan kami akan menghubungi Anda dalam waktu 24 jam.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept