Susceptor Berlapis SiC MOCVD

Parameter Teknis

STRUKTUR KRISTAL FILM CVD SIC

Definisi dan Komposisi Produk

VETEK MOCVD SiC Coated Susceptor adalah komponen pembawa wafer premium yang dirancang khusus untuk pemrosesan epitaksi semikonduktor generasi ketiga, seperti GaN dan SiC. Produk ini mengintegrasikan sifat fisik unggul dari dua material berperforma tinggi:

Substrat Grafit Kemurnian Tinggi: Diproduksi menggunakan teknologi pengepresan isostatik untuk memastikan bahan dasar memiliki integritas struktural yang luar biasa, kepadatan tinggi, dan stabilitas pemrosesan termal.

Lapisan CVD SiC: Lapisan pelindung silikon karbida (SiC) yang padat dan bebas tekanan ditanam pada permukaan grafit melalui teknologi Deposisi Uap Kimia (CVD) yang canggih.

Mengapa VETEK adalah Jaminan Hasil Anda

Presisi Tertinggi dalam Kontrol Keseragaman Termal: Tidak seperti pembawa konvensional, susceptor VETEK mencapai perpindahan panas yang sangat tersinkronisasi di seluruh permukaan melalui kontrol presisi skala nanometer pada ketebalan lapisan dan ketahanan termal. Manajemen termal yang canggih ini secara efektif meminimalkan deviasi standar panjang gelombang (STD) pada permukaan wafer, sehingga secara signifikan meningkatkan kualitas wafer tunggal dan konsistensi batch secara keseluruhan.

Perlindungan Jangka Panjang dengan Nol Kontaminasi Partikel: Dalam ruang reaksi MOCVD yang mengandung gas yang sangat korosif, alas grafit biasa rentan terhadap pengelupasan partikel. Lapisan CVD SiC VETEK memiliki kelembaman kimia yang luar biasa, bertindak sebagai pelindung kedap air yang menutup mikropori grafit. Hal ini memastikan isolasi total pengotor substrat, mencegah kontaminasi lapisan epitaksi GaN atau SiC.

Ketahanan Lelah dan Masa Pakai yang Luar Biasa:Berkat proses perawatan antarmuka milik VETEK, lapisan SiC kami mencapai kesesuaian ekspansi termal yang optimal dengan substrat grafit. Bahkan di bawah siklus termal frekuensi tinggi di antara suhu ekstrem, lapisan tersebut mempertahankan daya rekat yang unggul tanpa terkelupas atau menimbulkan retakan mikro. Hal ini secara signifikan mengurangi frekuensi pemeliharaan suku cadang dan menurunkan total biaya kepemilikan Anda.

Bengkel kami