Apa itu cvd tac coating? - Veteksemi

Seperti yang kita semua tahu,tantalum karbida (TaC)memiliki titik leleh hingga 3880°C, kekuatan mekanik yang tinggi, kekerasan, ketahanan guncangan termal; Kelembaman kimia yang baik dan stabilitas termal terhadap amonia, hidrogen, uap yang mengandung silikon pada suhu tinggi.

Lapisan tantalum carbide pada penampang mikroskopis

Lapisan CVD TAC, Deposisi Uap Kimia (CVD)Tantalum carbide (TAC) Coating, adalah proses untuk membentuk pelapisan kepadatan tinggi dan tahan lama pada substrat (biasanya grafit). Metode ini melibatkan menyimpan TAC ke permukaan substrat pada suhu tinggi, menghasilkan lapisan dengan stabilitas termal yang sangat baik dan ketahanan kimia.

Keuntungan utama pelapis CVD TAC meliputi:

●  Stabilitas termal yang sangat tinggi: Lapisan tantalum karbida dapat menahan suhu melebihi 2200 ° C.

●  Ketahanan terhadap bahan kimia: Lapisan CVD TAC dapat secara efektif menahan bahan kimia yang keras seperti hidrogen, amonia dan uap silikon.

● Adhesi yang kuat: Lapisan TaC memastikan perlindungan jangka panjang tanpa delaminasi.

● Kemurnian tinggi: Meminimalkan kotoran, menjadikannya ideal untuk aplikasi semikonduktor.

Pelapis ini sangat cocok untuk lingkungan yang membutuhkan daya tahan dan resistensi tinggi terhadap kondisi ekstrem, seperti manufaktur semikonduktor dan proses industri suhu tinggi.

Dalam produksi industri, grafit (Komposit karbon-karbon) Bahan yang dilapisi dengan lapisan TAC sangat mungkin menggantikan grafit kemurnian tinggi tradisional, pelapisan PBN, bagian pelapisan sic, dll. Selain itu, di bidang kedirgantaraan, TAC memiliki potensi besar untuk digunakan sebagai anti-oksidasi suhu tinggi dan lapisan anti-tablation, dan memiliki prospek aplikasi yang luas. Namun, masih ada banyak tantangan untuk mencapai persiapan lapisan TAC yang padat, seragam, dan tidak mengapung di permukaan grafit dan mempromosikan produksi massa industri.

Dalam proses ini, mengeksplorasi mekanisme perlindungan lapisan, berinovasi dalam proses produksi, dan bersaing dengan tingkat luar negeri teratas sangat penting untuk generasi ketigapertumbuhan kristal semikonduktor dan epitaksi.

VeTek Semiconductor adalah produsen produk CVD Tantalum Carbide Coating profesional Tiongkok, dan kemurnian Lapisan TaC kami di bawah 5ppm, dapat memenuhi kebutuhan pelanggan. Produk utama VeTekSemi CVD TaC Coated meliputi CVD TAC Coating Crucible, Pembawa Wafer Pelapis CVD TaC, Pembawa Coating CVD TAC, Penutup Lapisan CVD TaC,  Cincin pelapis TAC CVD. Vetek Semiconductor berkomitmen untuk memberikan solusi canggih untuk berbagai produk pelapisan untuk industri semikonduktor. Vetek Semiconductor dengan tulus berharap untuk menjadi mitra jangka panjang Anda di Cina.

Jika Anda memiliki pertanyaan atau memerlukan detail tambahan, jangan ragu untuk menghubungi kami.

Mob/whatsapp: +86-180 6922 0752

Surel: anny@veteksemi.com