Cincin Atas Epitaksi Dilapisi Silikon Karbida (SiC) CVD 8 Inci

Fitur Utama Cincin Atas Epi SiC 8 Inci

● Kemurnian Tinggi: minimum 99,9995%. Logam tidak akan bermigrasi ke lapisan epi. Hal ini menjaga konsentrasi pembawa wafer pada tempat yang seharusnya.

● Penekanan partikel: Struktur CVD padat. Tidak ada pori-pori. Itu tidak akan melepaskan partikel saat alat sedang berjalan. Pabrik mendapatkan hasil yang lebih baik dengan cara ini.

● Tahan Panas: Cincin tetap stabil pada suhu 1500°C. CTE rendah (ekspansi termal) berarti tidak ada lengkungan selama siklus pemanasan/pendinginan yang cepat.

● Stabilitas Kimia: CVD SiC padat tahan terhadap gas H2 dan HCl. Ia juga menolak NH3. Tidak ada lapisan yang bisa dikupas. Itu tidak menurun di lingkungan CVD yang keras.

● Masa Pakai Komponen: Permukaannya sangat keras. Ia bertahan dalam pembersihan kimia HF/HCl berulang kali. Ini mengurangi frekuensi penggantian. Hal ini juga menurunkan total biaya kepemilikan pabrik tersebut.

Spesifikasi Teknis

Keseragaman ketebalan lapisan antar batch dikontrol pada 10um

Aplikasi

Cincin atas epi CVD SiC banyak digunakan di:

● Reaktor epitaksi silikon (Si Epi).

● Epitaksi silikon karbida (SiC Epi)

● sistem MOCVD

● Peralatan deposisi CVD

Biasa dipasangkan dengan:

● Penerima

● Pembawa wafer

● Panaskan cincin terlebih dahulu

● Reaktor epitaksi

Mengapa memilih VETEK SiC Epi Top Ring?

● Kemampuan Manufaktur Penuh: 

Dari pemurnian bahan mentah hingga pemesinan presisi dan pelapisan CVD, VETEK mengontrol seluruh proses produksi untuk memastikan kualitas tingkat semikonduktor yang konsisten.

● Akurasi Tinggi: 

Kami menggunakan pemesinan tingkat mikron. Ketebalan CVD sangat seragam. Hal ini membuat setiap cincin bekerja dengan cara yang persis sama.

Pertanyaan Umum

(1) Apa fungsi cincin atas epi SiC?

Cincin mengatur aliran panas dan gas. Ini memastikan lapisan tipis tumbuh merata di seluruh wafer.

(2) Mengapa CVD SiC lebih baik daripada grafit?

Grafit berpori. Grafit memiliki pori-pori dan melepaskan gas. CVD SiC padat padat dan bersih. Ini bertahan lebih lama pada peralatan korosif.

(3). Dapatkah cincin atas SiC 8 inci disesuaikan?

Ya. Kami membuat gambar alat spesifik Anda. Kami dapat menyesuaikan geometri berdasarkan proses Anda.

(4). Industri apa yang menggunakan cincin epitaksi SiC?

Mereka terutama digunakan dalam manufaktur semikonduktor, termasuk perangkat listrik, perangkat RF, dan produksi wafer SiC.