Silicon Carbide Epitaxy Wafer Carrier

Sebagai produsen profesional, kami ingin memberi Anda pembawa wafer epitaxy silikon karbida berkualitas tinggi. VETEK Semiconductor Silicon Carbide Epitaxy Wafer Carriers secara khusus dirancang untuk ruang epitaxial SIC. Mereka memiliki berbagai aplikasi dan kompatibel dengan berbagai model peralatan.

Skenario aplikasi:

MEMILIKIK semikonduktor silikon karbida Epitaxy wafer pembawa terutama digunakan dalam proses pertumbuhan lapisan epitaxial SiC. Aksesori ini ditempatkan di dalam reaktor epitaks SIC, di mana mereka bersentuhan langsung dengan substrat SIC. Parameter kritis untuk lapisan epitaxial adalah keseragaman konsentrasi ketebalan dan doping. Oleh karena itu, kami menilai kinerja dan kompatibilitas aksesori kami dengan mengamati data seperti ketebalan film, konsentrasi pembawa, keseragaman, dan kekasaran permukaan.

Penggunaan:

Bergantung pada peralatan dan prosesnya, produk kami dapat mencapai setidaknya 5000 um ketebalan lapisan epitaxial dalam konfigurasi setengah bulan 6 inci. Nilai ini berfungsi sebagai referensi, dan hasil aktual dapat bervariasi.

Model Peralatan Kompatibel:

Bagian -bagian grafit yang dilapisi silicon silicon karbida vetek kompatibel dengan berbagai model peralatan, termasuk LPE, Naura, JSG, CETC, NASO Tech, dan lainnya.

Sifat fisik dasar dariCVD SIC COATING:

Bandingkan toko produksi semikonduktor ：

Tinjauan umum rantai industri epikonduktor Chip Epitaxy: