CVD SIC Coating Graphite Stentsctor

CVD SIC Coating Graphite Ronsceptor dirancang khusus untuk manufaktur presisi tinggi di industri semikonduktor. Substrat grafit dilapisi dengan lapisan SIC dengan kemurnian tinggi oleh proses CVD, yang memiliki ketahanan suhu tinggi yang sangat baik, ketahanan korosi dan resistensi oksidasi, dan dapat beroperasi secara stabil untuk waktu yang lama dalam lingkungan suhu tinggi dan vakum. Alas ini banyak digunakan dalam MOCVD, PECVD, PVD dan peralatan lainnya untuk mendukung pemrosesan dan penanganan wafer dan bahan presisi tinggi lainnya.

Keuntungan Inti:

● Stabilitas suhu tinggi: Grafit dengan kemurnian tinggi itu sendiri memiliki stabilitas termal yang sangat baik. Setelah dilapisi dengan lapisan SIC, ia dapat menahan lingkungan ekstrem suhu yang lebih tinggi dan cocok untuk proses suhu tinggi dalam pemrosesan semikonduktor.

● Sudutresistensi ion: Lapisan CVD SIC tahan terhadap korosi asam dan alkali dan dapat memiliki umur layanan yang panjang dalam proses CVD.

● Tinggi hketahanan kerang dan oksidasi: Lapisan CVD SIC memiliki kekerasan yang sangat baik, resistensi goresan, dan resistensi oksidasi pada suhu tinggi untuk menjaga stabilitas material.

● Konduktivitas termal yang baik: Kombinasi dari substrat grafit dan kerentanan pelapisan CVD SIC membuat basis memiliki konduktivitas termal yang sangat baik, yang secara efektif dapat melakukan panas dan meningkatkan efisiensi produksi.

Spesifikasi Produk:

● Bahan: substrat grafit + cvd sic coating

● Ketebalan lapisan: dapat disesuaikan sesuai dengan kebutuhan pelanggan

● Lingkungan yang berlaku: Suhu tinggi, vakum, lingkungan gas korosif

Layanan khusus:

Kami menyediakan layanan yang sangat disesuaikan untuk memenuhi kebutuhan berbagai peralatan dan proses pelanggan. Menurut aplikasi spesifik pelanggan, basis grafit dengan ketebalan lapisan yang berbeda, perawatan permukaan dan tingkat presisi dapat disediakan.

Veteksemi selalu bekerja di industri pelapisan CVD Silicon Carbide dan memiliki produksi dasar dan produksi basis pelapisan CVD SIC yang terkemuka di industri. Jika Anda memerlukan lebih banyak informasi produk atau layanan khusus, silakan hubungi Vetek Semiconductor, kami dengan sepenuh hati akan memberi Anda dukungan profesional.

SEM Data CVD SIC Struktur Kristal Film:

Itu semikonduktorCVD SIC Coating Graphite Stupctor Products: