Berita Industri

Pemolesan mekanis kimia (CMP) menghilangkan kelebihan material dan cacat permukaan melalui aksi gabungan reaksi kimia dan abrasi mekanis. Ini adalah proses utama untuk mencapai planarisasi global pada permukaan wafer dan sangat diperlukan untuk interkoneksi tembaga multilayer dan struktur dielektrik rendah-k. Dalam manufaktur praktis

Bubur pemoles CMP (Chemical Mechanical Planarization) wafer silikon adalah komponen penting dalam proses pembuatan semikonduktor. Hal ini memainkan peran penting dalam memastikan bahwa wafer silikon—yang digunakan untuk membuat sirkuit terintegrasi (IC) dan microchip—dipoles hingga tingkat kehalusan yang diperlukan untuk tahap produksi selanjutnya.

Dalam manufaktur semikonduktor, Planarisasi Mekanik Kimia (CMP) memainkan peran penting. Proses CMP menggabungkan tindakan kimia dan mekanis untuk menghaluskan permukaan wafer silikon, memberikan landasan yang seragam untuk langkah selanjutnya seperti deposisi film tipis dan etsa. Bubur pemoles CMP, sebagai komponen inti dari proses ini, berdampak signifikan terhadap efisiensi pemolesan, kualitas permukaan, dan kinerja akhir produk.