Berita Industri

Mengatasi variasi ketebalan saku-ke-kantong sebesar 1,4% pada suseptor grafit epitaksi silikon multi-kantong, VeTek Semi meningkatkan kerataan susseptor menjadi <0,08 mm dan mengurangi variasi hingga 0,69% melalui simulasi medan aliran CVD dan pelapisan SiC ultra-presisi, sehingga meningkatkan hasil wafer.

Pelajari bagaimana Vetek menghilangkan keretakan radial pada suseptor grafit berlapis SiC MOCVD berukuran besar. Desain ulang penyangga tegangan struktural & pencocokan CTE meningkatkan masa pakai sebesar 300%+.

Satu dekade evolusi SiC — dari tantangan awal komersialisasi 4 inci hingga transisi wafer 8 inci saat ini. Temukan bagaimana pelapis CVD SiC, SiC Padat, dan material TaC memungkinkan manufaktur semikonduktor yang andal.