Berita Industri

Tungku pertumbuhan kristal silikon karbida (sic) memainkan peran penting dalam menghasilkan wafer SiC berkinerja tinggi untuk perangkat semikonduktor generasi berikutnya. Namun, proses pertumbuhan kristal SIC berkualitas tinggi menghadirkan tantangan yang signifikan. Dari mengelola gradien termal ekstrem hingga mengurangi cacat kristal, memastikan pertumbuhan yang seragam, dan mengendalikan biaya produksi, setiap langkah membutuhkan solusi rekayasa canggih. Artikel ini akan menganalisis tantangan teknis tungku pertumbuhan kristal SiC dari berbagai perspektif.

Smart Cut adalah proses manufaktur semikonduktor canggih berdasarkan implantasi ion dan pengupasan wafer, yang dirancang khusus untuk produksi wafer 3C-SIC (silikon karbida) yang sangat seragam dan seragam (silikon karbida kubik). Ini dapat mentransfer bahan kristal ultra-tipis dari satu substrat ke substrat lainnya, sehingga melanggar keterbatasan fisik asli dan mengubah seluruh industri substrat.

Dalam persiapan substrat silikon karbida berkualitas tinggi dan hasil tinggi, inti membutuhkan kontrol yang tepat dari suhu produksi dengan bahan medan termal yang baik. Saat ini, kit wadah medan termal yang terutama digunakan adalah komponen struktural grafit dengan kemurnian tinggi, yang fungsinya adalah memanaskan bubuk karbon cair dan bubuk silikon serta mempertahankan panas.

Ketika Anda melihat semikonduktor generasi ketiga, Anda pasti akan bertanya-tanya apa generasi pertama dan kedua. "Generasi" di sini diklasifikasikan berdasarkan bahan yang digunakan dalam manufaktur semikonduktor.

Chuck elektrostatik (ESC), juga dikenal sebagai chuck elektrostatik (ESC, e-chuck), adalah perlengkapan yang menggunakan prinsip adsorpsi elektrostatik untuk menahan dan memperbaiki bahan yang teradsorpsi. Ini cocok untuk lingkungan vakum dan plasma.

Pembawa wafer sic, sebagai bahan habis pakai utama dalam rantai industri semikonduktor generasi ketiga, karakteristik teknis mereka secara langsung mempengaruhi hasil pertumbuhan epitaxial dan pembuatan perangkat. Dengan permintaan yang melonjak untuk perangkat tegangan tinggi dan suhu tinggi di industri seperti stasiun pangkalan 5G dan kendaraan energi baru, penelitian dan penerapan operator wafer SiC sekarang menghadapi peluang pengembangan yang signifikan.