Berita Industri

Bahan kuarsa dengan kemurnian tinggi memainkan peran penting dalam industri semikonduktor. Ketahanannya terhadap suhu tinggi, ketahanan korosi, stabilitas termal, dan sifat transmisi cahaya yang unggul menjadikannya bahan habis pakai yang penting. Produk kuarsa digunakan untuk komponen di zona produksi wafer bersuhu tinggi dan bersuhu rendah, memastikan stabilitas dan kebersihan proses manufaktur.

Seiring dengan transisi energi global, revolusi AI, dan gelombang teknologi informasi generasi baru, silikon karbida (SiC) telah berkembang pesat dari “bahan potensial” menjadi “bahan dasar strategis” karena sifat fisiknya yang luar biasa.

Dalam proses semikonduktor suhu tinggi, penanganan, pendukung, dan perlakuan termal wafer bergantung pada komponen pendukung khusus—perahu wafer. Ketika suhu proses meningkat dan persyaratan kebersihan dan kontrol partikel meningkat, kapal wafer kuarsa tradisional secara bertahap mengungkapkan masalah seperti masa pakai yang pendek, tingkat deformasi yang tinggi, dan ketahanan terhadap korosi yang buruk.

Untuk produksi substrat silikon karbida skala industri, keberhasilan satu pertumbuhan bukanlah tujuan akhir. Tantangan sebenarnya terletak pada memastikan bahwa kristal yang ditumbuhkan pada batch, alat, dan periode waktu yang berbeda mempertahankan tingkat konsistensi dan pengulangan kualitas yang tinggi. Dalam konteks ini, peran lapisan tantalum karbida (TaC) lebih dari sekadar perlindungan dasar—lapisan ini menjadi faktor kunci dalam menstabilkan masa proses dan menjaga hasil produk.

​Pertumbuhan PVT silikon karbida (SiC) melibatkan siklus termal yang parah (suhu ruangan di atas 2200 ℃). Tekanan termal yang sangat besar yang dihasilkan antara lapisan dan substrat grafit karena ketidaksesuaian dalam koefisien ekspansi termal (CTE) merupakan tantangan utama yang menentukan masa pakai lapisan dan keandalan aplikasi.

​Dalam proses pertumbuhan kristal PVT silikon karbida (SiC), stabilitas dan keseragaman medan termal secara langsung menentukan laju pertumbuhan kristal, kepadatan cacat, dan keseragaman material. Sebagai batas sistem, komponen medan termal menunjukkan sifat termofisika permukaan yang fluktuasi kecilnya diperkuat secara dramatis pada kondisi suhu tinggi, yang pada akhirnya menyebabkan ketidakstabilan pada antarmuka pertumbuhan.