Berita

Dalam persiapan substrat silikon karbida berkualitas tinggi dan hasil tinggi, inti membutuhkan kontrol yang tepat dari suhu produksi dengan bahan medan termal yang baik. Saat ini, kit wadah medan termal yang terutama digunakan adalah komponen struktural grafit dengan kemurnian tinggi, yang fungsinya adalah memanaskan bubuk karbon cair dan bubuk silikon serta mempertahankan panas.

Ketika Anda melihat semikonduktor generasi ketiga, Anda pasti akan bertanya-tanya apa generasi pertama dan kedua. "Generasi" di sini diklasifikasikan berdasarkan bahan yang digunakan dalam manufaktur semikonduktor.

Chuck elektrostatik (ESC), juga dikenal sebagai chuck elektrostatik (ESC, e-chuck), adalah perlengkapan yang menggunakan prinsip adsorpsi elektrostatik untuk menahan dan memperbaiki bahan yang teradsorpsi. Ini cocok untuk lingkungan vakum dan plasma.