Berita

Dengan meningkatnya permintaan bahan SiC dalam elektronika daya, optoelektronik, dan bidang lainnya, pengembangan teknologi pertumbuhan kristal tunggal SiC akan menjadi bidang utama inovasi ilmiah dan teknologi. Sebagai inti dari peralatan pertumbuhan kristal tunggal SiC, desain medan termal akan terus mendapat perhatian luas dan penelitian mendalam.

Melalui kemajuan teknologi yang berkelanjutan dan penelitian mekanisme yang mendalam, teknologi heteroepitaksial 3C-SiC diharapkan dapat memainkan peran yang lebih penting dalam industri semikonduktor dan mendorong pengembangan perangkat elektronik berefisiensi tinggi.

ALD spasial, pengendapan lapisan atom yang terisolasi secara spasial. Wafer berpindah antara posisi yang berbeda dan terkena prekursor yang berbeda pada setiap posisi. Gambar di bawah adalah perbandingan antara ALD tradisional dan ALD yang terisolasi secara spasial.

Baru -baru ini, Institut Penelitian Jerman Fraunhofer IISB telah membuat terobosan dalam penelitian dan pengembangan teknologi pelapisan Tantalum carbide, dan mengembangkan solusi pelapisan semprot yang lebih fleksibel dan ramah lingkungan daripada solusi deposisi CVD, dan telah dikomersialkan.