Apa itu TAC Coating? - Vetek Semiconductor

TAC Coating (Lapisan Tantalum Carbide) adalah bahan pelapis kinerja tinggi yang dihasilkan oleh proses uap kimia (CVD). Karena sifat pelapisan TAC yang sangat baik dalam kondisi ekstrem, ini banyak digunakan dalam proses pembuatan semikonduktor, terutama dalam peralatan dan komponen yang membutuhkan suhu tinggi dan lingkungan korosif yang kuat. Lapisan TAC biasanya digunakan untuk melindungi substrat (seperti grafit atau keramik) dari kerusakan berdasarkan suhu tinggi, gas korosif dan keausan mekanis.

Sifat fisik pelapis TAC

Fitur Produk dan keuntungan

● Stabilitas termal yang sangat tinggi:

Deskripsi Fitur: Lapisan TAC memiliki titik leleh lebih dari 3880 ° C dan dapat mempertahankan stabilitas tanpa dekomposisi atau deformasi dalam lingkungan suhu yang sangat tinggi.

Keuntungan: Ini membuatnya menjadi bahan yang sangat diperlukan dalam peralatan semikonduktor suhu tinggi seperti pelapisan CVD TAC dan kerentanan yang dilapisi TAC, terutama untuk aplikasi dalam reaktor MOCVD, seperti peralatan Aixtron G5.

● Resistensi korosi yang sangat baik:

Deskripsi Fitur: TAC memiliki kelerak kimia yang sangat kuat dan dapat secara efektif menahan erosi gas korosif seperti klorida dan fluorida.

Keuntungan: Dalam proses semikonduktor yang melibatkan bahan kimia yang sangat korosif, pelapisan TAC melindungi komponen peralatan dari serangan kimia, masa pakai layanan yang lebih lama dan meningkatkan stabilitas proses, terutama dalam penerapan perahu wafer silikon karbida dan komponen kunci lainnya.

● Kekerasan mekanik yang sangat baik:

Deskripsi Fitur: Kekerasan lapisan TAC setinggi 9-10 MOHS, yang membuatnya tahan terhadap keausan mekanis dan tegangan suhu tinggi.

Keuntungan: Properti kekerasan tinggi membuat pelapisan TAC sangat cocok untuk digunakan dalam keausan tinggi dan lingkungan stres tinggi, memastikan stabilitas jangka panjang dan keandalan peralatan dalam kondisi yang keras.

● Reaktivitas kimia rendah:

Deskripsi Fitur: Karena inertness kimianya, pelapisan TAC dapat mempertahankan reaktivitas rendah di lingkungan suhu tinggi dan menghindari reaksi kimia yang tidak perlu dengan gas reaktif.

Keuntungan: Ini sangat penting dalam proses pembuatan semikonduktor karena memastikan kemurnian lingkungan proses dan deposisi bahan berkualitas tinggi.

Peran pelapisan TAC dalam pemrosesan semikonduktor

● Melindungi komponen peralatan utama:

Deskripsi Fungsi: Lapisan TAC banyak digunakan dalam komponen utama peralatan manufaktur semikonduktor, seperti kerentanan yang dilapisi TAC, yang perlu bekerja dalam kondisi ekstrem. Dengan melapisi dengan TAC, komponen -komponen ini dapat beroperasi untuk jangka waktu yang lama dalam suhu tinggi dan lingkungan gas korosif tanpa rusak.

● Perpanjang umur peralatan:

Deskripsi Fungsi: Dalam peralatan MOCVD seperti Aixtron G5, pelapisan TAC dapat secara signifikan meningkatkan daya tahan komponen peralatan dan mengurangi kebutuhan untuk pemeliharaan dan penggantian peralatan karena korosi dan keausan.

● Meningkatkan stabilitas proses:

Deskripsi Fungsi: Dalam manufaktur semikonduktor, pelapisan TAC memastikan keseragaman dan konsistensi proses pengendapan dengan memberikan lingkungan suhu tinggi dan kimia yang stabil. Ini sangat penting dalam proses pertumbuhan epitaxial seperti epitaxy silikon dan gallium nitrida (GAN).

● Meningkatkan efisiensi proses:

Deskripsi Fungsi: Dengan mengoptimalkan lapisan pada permukaan peralatan, pelapisan TAC dapat meningkatkan efisiensi keseluruhan proses, mengurangi laju cacat, dan meningkatkan hasil produk. Ini sangat penting untuk pembuatan bahan semikonduktor presisi tinggi, kemurnian tinggi.

Stabilitas termal yang tinggi, ketahanan korosi yang sangat baik, kekerasan mekanis dan reaktivitas kimia rendah yang ditunjukkan oleh pelapisan TAC selama pemrosesan semikonduktor menjadikannya pilihan yang ideal untuk melindungi komponen peralatan manufaktur semikonduktor. Karena permintaan industri semikonduktor untuk suhu tinggi, kemurnian tinggi dan proses manufaktur yang efisien terus meningkat, pelapisan TAC memiliki prospek aplikasi yang luas, terutama dalam peralatan dan proses yang melibatkan pelapisan CVD TAC, kerentanan yang dilapisi TAC dan Aixtron G5.

Vetek Semiconductor Technology Co., Ltd adalah penyedia terkemuka bahan pelapis canggih untuk industri semikonduktor. Perusahaan kami fokus pada pengembangan solusi mutakhir untuk industri ini.

Penawaran produk utama kami termasukPelapis CVD Silicon Carbide (SIC), Pelapis Tantalum Carbide (TAC), SIC BULK, SIC Bubuk, dan Bahan SIC Kemurnian Tinggi, Kerentanan Grafit Dilapisi SiC, Cincin Panaskan, Cincin Pengalihan Dilapisi TAC, Bagian Halfmoon, dll., Kemurnian di bawah 5ppm, dapat memenuhi kebutuhan pelanggan.

Vetek Semiconductor Fokus pada pengembangan teknologi canggih dan solusi pengembangan produk untuk industri semikonduktor.Kami sangat berharap untuk menjadi mitra jangka panjang Anda di China.