Silikon pada wafer isolator

Prinsip kerjaItu semikonduktor'SSilikon pada wafer isolatorterutama bergantung pada struktur dan sifat material yang unik. Dan Soi WaferTerdiri dari tiga lapisan: Lapisan atas adalah lapisan perangkat silikon kristal tunggal, tengah adalah lapisan oksida (kotak) yang terisolasi, dan lapisan bawah adalah substrat silikon pendukung.

Struktur silikon pada wafer isolator (SOI)

Pembentukan lapisan isolasi: Silikon pada wafer isolator biasanya diproduksi menggunakan teknologi Smart Cut ™ atau teknologi Simox (pemisahan oleh oksigen implan). Teknologi Smart Cut ™ menyuntikkan ion hidrogen ke dalam wafer silikon untuk membentuk lapisan gelembung, dan kemudian mengikat wafer yang disuntikkan hidrogen ke silikon pendukungkue kue wafer. 

Setelah perlakuan panas, wafer yang disuntikkan hidrogen terbagi dari lapisan gelembung untuk membentuk struktur SOI.Teknologi SimoxImplan ion oksigen berenergi tinggi ke dalam wafer silikon untuk membentuk lapisan silikon oksida pada suhu tinggi.

Kurangi kapasitansi parasit: Lapisan kotak dariWafer silikon karbidasecara efektif mengisolasi lapisan perangkat dan silikon dasar, secara signifikan redusinKapasitansi parasit G. Isolasi ini mengurangi konsumsi daya dan meningkatkan kecepatan dan kinerja perangkat.

Hindari efek latch-up: Perangkat N-Well dan P-Well diSoi Waferbenar-benar terisolasi, menghindari efek latch-up dalam struktur CMOS tradisional. Ini memungkinkanWafer Soi untuk diproduksi dengan kecepatan yang lebih tinggi.

Fungsi Stop Etch: Thelapisan perangkat silikon kristal tunggaldan struktur lapisan kotak SOI Wafer memfasilitasi pembuatan MEMS dan perangkat optoelektronik, menyediakan fungsi stop etch yang sangat baik.

Melalui karakteristik ini,Silikon pada wafer isolatormemainkan peran penting dalam pemrosesan semikonduktor dan mempromosikan pengembangan berkelanjutan dari sirkuit terintegrasi (IC) danSistem Mikroelektromekanis (MEMS)Industri. Kami dengan tulus menantikan komunikasi dan kerja sama lebih lanjut dengan Anda.

Parameter Spesifikasi Wafers Sol 200mm:

Silikon di toko produksi wafer isolator: