Pemanas Lapisan TaC

Pemanas pelapis TAC adalah elemen pemanas berkinerja tinggi yang banyak digunakan dalam proses pembuatan semikonduktor. Permukaannya dilapisi dengan bahan tantalum carbide (TAC), yang memberikan pemanas ketahanan suhu tinggi yang sangat baik, ketahanan korosi kimia dan konduktivitas termal yang sangat baik.

Aplikasi utama pemanas pelapis TAC di manufaktur semikonduktor meliputi:

 ✔ Selama proses pertumbuhan epitaxial Gallium Nitride (GAN), pemanas pelapis TAC menyediakan lingkungan suhu tinggi yang dikendalikan dengan tepat untuk memastikan bahwa lapisan epitaxial diendapkan pada substrat pada tingkat yang seragam dan kualitas tinggi. Output panas yang stabil membantu mencapai kontrol yang tepat dari bahan film tipis, sehingga meningkatkan kinerja perangkat.

 ✔ Selain itu, dalam proses pengendapan uap kimia organik logam (MOCVD), dikombinasikan dengan ketahanan suhu tinggi dan konduktivitas termal lapisan TaC, Pemanas Pelapis TaC biasanya digunakan untuk memanaskan gas reaksi, dan dengan menyediakan distribusi panas yang seragam, itu mempromosikan reaksi kimianya pada permukaan substrat, sehingga meningkatkan keseragaman lapisan epitaksi dan membentuk film berkualitas tinggi.

 ✔ Sebagai pemimpin industri dalam produk pemanas TAC Coating, Vetek Semiconducto selalu mendukung layanan penyesuaian produk dan harga produk yang memuaskan. Apa pun persyaratan spesifik Anda, kami akan mencocokkan solusi terbaik untuk kebutuhan pemanas pelapisan TAC Anda, dan menantikan konsultasi Anda kapan saja.