Dari proses pembuatan cangkir hisap elektrostatik hingga produsen produksi massal

Prinsip dechuck dariChuck elektrostatikadalah bagian penting dari alur kerja yang melibatkan eliminasi gaya elektrostatik dan mekanisme pelepasan wafer. Berikut ini adalah analisis terperinci:

Inti Dechuck adalah untuk menghilangkan atau menetralkan gaya elektrostatik yang diadsorpsi pada wafer, dan metode spesifik meliputi:

YouDAOPLACEHOLDER0 memotong kekuatan

Berhenti menerapkan tegangan arus searah ke elektroda untuk secara bertahap menghilangkan medan listrik.

YoDAOPLACEHOLDER0 Tegangan Terbalik atau Injeksi Gas ‌

Beberapa sistem akan menerapkan tegangan terbalik atau memperkenalkan gas inert (seperti HE, N₂) untuk mempercepat netralisasi muatan atau pemisahan fisik.

Mari kita bandingkan teknik profesional produksi ESC dan pertama -tama lihat apakah perusahaan dapat mencapai skala seperti itu.

Teknologi Analisis CAE, Bahan Fungsional Lempeng, Desain Elektroda, Teknologi Analisis, Teknologi Saluran Pendingin, Teknologi Desain Pemanas, Personil Senior dalam Peralatan Semikonduktor.

Perusahaan Jepang dan Korea Selatan harus sepenuhnya dikelola dengan personel yang relevan. Jika tidak, tidak perlu berbicara tentang teknologi perusahaan.

Teknologi Chuck, elektroda, cakram, dan bahkan prinsip HE Flow belum diklarifikasi. Mari kita buat cangkir pengisapan elektrostatik yang kasar. Perusahaan semacam itu langsung diteruskan. Mereka pada dasarnya digunakan untuk mengendalikan uang investor. Ini adalah tingkat dasar untuk mengetahui caranya. Investor juga harus menyerah pada perusahaan yang bermain dengan permainan kartu dan tidak memiliki karyawan dengan lebih dari 10 tahun pengalaman dalam etsa peralatan, karena ini bukan perusahaan yang melakukan hal -hal praktis.

Ketika datang ke penembakan bubuk di industri ini, semua orang berada di bidang yang sama. Masing -masing memiliki formula uniknya sendiri. Mana yang tidak memiliki kekuatan yang harus dilengkapi dengan permukaan keramik yang disinter? Investor juga dapat meneruskan konfigurasi ini atau perusahaan yang belum sepenuhnya menangkapnya, karena logika fundamental mereka sama: mereka bertujuan untuk menghasilkan uang, bukan untuk mengembangkan produk.

Mengenai perbaikan, banyak perusahaan domestik harus memiliki kemampuan yang sesuai untuk L1 ke L3 sekarang. Bahkan jika kemampuannya agak kurang, L1 masih bisa menanganinya. Untuk L3 dan di atas, baik tidak dapat diperbaiki atau dapat disubkontrakkan. Bagaimanapun, masih ada cara untuk memperbaikinya.

L1 Perbaikan Perbaikan Permukaan, Peningkatan Kekasaran Permukaan/Peningkatan Kekental/Bump Regenerasi.

Perbaikan L2: Perbaikan lapisan sambungan, rebonding dasar logam dan cakram keramik/pengisian ulang lapisan sambungan.

L3 Perbaikan Penggantian disk keramik, pembuatan disk keramik/rebonding pangkalan logam dan disk keramik.

Guangdong Haituo Innovation Precision Equipment Technology Co., Ltd

Perusahaan memegang posisi terdepan dalam desain dan produksi chuck dan peralatan elektrostatik domestik berdasarkan chuck elektrostatik sebagai teknologi inti. Saat ini, Haituo Innovation telah mencapai produksi komersial cangkir hisap elektrostatik dan telah menyelesaikan pengiriman chuck elektrostatik semikonduktor 4-inci hingga 12 inci.

Beijing Huazhuo Jingke Technology Co., Ltd

Piala pengisapan elektrostatik yang dikembangkan secara independen oleh perusahaan mematuhi standar dan pemrosesan yang relevanPersyaratan industri semikonduktor. Piala hisap elektrostatik aluminium nitrida 12 inci yang dikembangkan pada tahap awal, sampai batas tertentu, telah memecah monopoli jangka panjang produsen asing di bidang produk ini. Saat ini, Huazhuo Jingke telah menerapkan teknologi terkait cangkir hisap elektrostatik untuk pembuatan produk dan mencapai produksi massal skala kecil. Ini juga dapat menyediakan produk khusus untuk pelanggan.

Didirikan pada tahun 2016, adalah penyedia terkemuka bahan pelapis canggih untuk industri semikonduktor. Pendiri kami, mantan pakar dari Institut Bahan Akademi Ilmu Pengetahuan Tiongkok, mendirikan perusahaan dengan fokus pada pengembangan solusi mutakhir untuk industri ini.

Penawaran produk utama kami meliputi pelapis CVD Silicon Carbide (SIC), pelapis Tantalum carbide (TAC), SIC curah, bubuk SiC, dan bahan SIC dengan kemurnian tinggi. Produk utamanya adalah kerentanan grafit yang dilapisi SiC, cincin pemanasan awal, cincin pengalihan yang dilapisi TAC, bagian Halfmoon, dll., Kemurnian di bawah 5ppm, dapat memenuhi kebutuhan pelanggan.

Zhejiang Xinna Material Technology Co., Ltd

Produk cangkir hisap elektrostatik yang dikembangkan olehnya memiliki indikator kinerja yang dapat memenuhi tuntutan perusahaan manufaktur chip. Mereka memiliki sifat luar biasa seperti suhu yang dapat dikendalikan, gaya adsorpsi yang seragam, tidak ada goresan atau kerutan selama adsorpsi, dan tidak ada efek eksklusi tepi pada wafer. Mereka telah disertifikasi oleh perusahaan industri semikonduktor domestik terkemuka seperti Yangtze Memory Technologies, Silan Microelectronics, dan Inovasi Cina Utara dan telah mencapai penjualan. Ini telah melanggar monopoli produsen asing di bidang produk ini.

Hebei Zhongci Electronic Technology Co., Ltd

Pada tahun 2022, perusahaan membuat langkah strategis di bidang komponen keramik presisi, mencapai lokalisasi bagian -bagian presisi yang sangat teknis seperti pelat pemanas dan chuck elektrostatik. Indikator teknis inti dari pelat pemanas keramik yang dikembangkan oleh Zhongci Electronics telah mencapai tingkat produk internasional yang serupa dan telah diverifikasi oleh pengguna. Mereka telah diterapkan dalam batch dalam peralatan semikonduktor domestik utama. Pelat pemanas keramik telah dikirim dalam jumlah besar, dan chuck elektrostatik telah dikirim untuk pengujian sampel.