Sebagai produsen profesional, Vetek Semiconductor ingin memberi Anda ALD Planetary Susceptor yang dilapisi SiC.
Proses ALD, yang dikenal sebagai Atomic Layer Epitaxy, merupakan puncak presisi dalam teknologi pengendapan film tipis. Vetek Semiconductor, bekerja sama dengan produsen sistem ALD terkemuka, telah memelopori pengembangan dan pembuatan susceptor Planetary ALD berlapis SiC yang mutakhir. Susceptor inovatif ini telah dirancang dengan cermat untuk melampaui tuntutan ketat proses ALD, memastikan distribusi aliran udara yang seragam di seluruh substrat dengan akurasi dan efisiensi yang tak tertandingi.
Selain itu, komitmen semikonduktor Vetek terhadap keunggulan dilambangkan dengan pemanfaatan pelapis CVD SIC dengan kemurnian tinggi, yang menjamin tingkat kemurnian yang penting untuk keberhasilan setiap siklus deposisi. Dedikasi untuk kualitas ini tidak hanya meningkatkan keandalan proses tetapi juga meningkatkan kinerja keseluruhan dan reproduktifitas proses ALD dalam beragam aplikasi.
Kontrol Ketebalan yang Tepat: Mencapai ketebalan film sub-nanometer dengan kemampuan pengulangan yang sangat baik dengan mengontrol siklus pengendapan.
Kehalusan Permukaan: Kesesuaian 3D sempurna dan cakupan langkah 100% memastikan lapisan halus yang mengikuti kelengkungan media sepenuhnya.
Penerapan Luas: Dicari pada berbagai objek dari wafer hingga bubuk, cocok untuk substrat sensitif.
Sifat material yang dapat disesuaikan: Kustomisasi mudah sifat material untuk oksida, nitrida, logam, dll.
Jendela Proses yang Luas: Ketidakpekaan terhadap variasi suhu atau prekursor, kondusif untuk produksi batch dengan keseragaman ketebalan lapisan yang sempurna.
Kami dengan hormat mengundang Anda untuk terlibat dalam dialog dengan kami untuk mengeksplorasi kolaborasi dan kemitraan potensial. Bersama-sama, kita dapat membuka kunci kemungkinan baru dan mendorong inovasi di bidang teknologi deposisi film tipis.
| Sifat fisik dasar pelapisan cvd sic | |
| Milik | Nilai Khas |
| Struktur Kristal | Polikristalin fase β FCC, terutama berorientasi (111). |
| Kepadatan | 3.21 g/cm³ |
| Kekerasan | Kekerasan Vickers 2500（beban 500g） |
| Ukuran biji -bijian | 2 ~ 10mm |
| Kemurnian Kimia | 99,9995% |
| Kapasitas Panas | 640 J · kg-1· K-1 |
| Suhu sublimasi | 2700 ℃ |
| Kekuatan lentur | 415 MPa RT 4 titik |
| Modulus Young | tikungan 430 Gpa 4pt, 1300℃ |
| Konduktivitas termal | 300W · m-1· K-1 |
| Ekspansi Termal (CTE) | 4,5 × 10-6K-1 |
Alamat
Jalan Wangda, Jalan Ziyang, Kabupaten Wuyi, Kota Jinhua, Provinsi Zhejiang, Tiongkok
Telp
Surel
