SIC Coating ALD Ronsceptor

Itu semikonduktorSIC Coating ALD Ronsceptormemainkan peran penting dalam deposisi lapisan atom (Ald) proses. Kontrol suhu yang tepat, distribusi gas yang seragam, ketahanan kimia yang tinggi dan konduktivitas termal yang sangat baik memastikan keseragaman dan kualitas tinggi dari proses pengendapan film. Jika Anda ingin tahu lebih banyak, Anda dapat segera berkonsultasi dengan kami dan kami akan membalas Anda tepat waktu!

Kontrol suhu yang tepat:

SIC Coating ALD Ronsceptor biasanya memiliki sistem kontrol suhu presisi tinggi. Ia mampu mempertahankan lingkungan suhu yang seragam di seluruh proses pengendapan, yang sangat penting untuk memastikan keseragaman dan kualitas film.

Distribusi gas seragam:

Desain yang dioptimalkan dari pelapisan SIC, rentan ALD memastikan distribusi gas yang seragam selama proses pengendapan ALD. Strukturnya biasanya mencakup beberapa bagian berputar atau bergerak untuk mempromosikan cakupan seragam gas reaktif di seluruh permukaan wafer.

Resistensi kimia tinggi:

Karena proses ALD melibatkan berbagai gas kimia, pelapisan SIC rentan ALD biasanya terbuat dari bahan tahan korosi (seperti platinum, keramik atau kuarsa kemurnian tinggi) untuk menahan erosi gas kimia dan pengaruh lingkungan suhu tinggi.

Konduktivitas termal yang sangat baik:

Untuk secara efektif melakukan panas dan mempertahankan suhu pengendapan yang stabil, rintusan SIC Coating ALD biasanya menggunakan bahan konduktivitas termal yang tinggi. Ini membantu menghindari deposisi overheating dan tidak merata lokal.

Sifat fisik dasar pelapisan cvd sic:

Toko produksi:

Tinjauan Rantai Industri Epitaxy Chip Semikonduktor：