Berita

Chuck elektrostatik (ESC), juga dikenal sebagai chuck elektrostatik (ESC, e-chuck), adalah perlengkapan yang menggunakan prinsip adsorpsi elektrostatik untuk menahan dan memperbaiki bahan yang teradsorpsi. Ini cocok untuk lingkungan vakum dan plasma.

Pembawa wafer sic, sebagai bahan habis pakai utama dalam rantai industri semikonduktor generasi ketiga, karakteristik teknis mereka secara langsung mempengaruhi hasil pertumbuhan epitaxial dan pembuatan perangkat. Dengan permintaan yang melonjak untuk perangkat tegangan tinggi dan suhu tinggi di industri seperti stasiun pangkalan 5G dan kendaraan energi baru, penelitian dan penerapan operator wafer SiC sekarang menghadapi peluang pengembangan yang signifikan.

Keramik alumina adalah "pekerja keras" untuk pembuatan komponen keramik. Mereka menunjukkan sifat mekanik yang sangat baik, titik leleh dan kekerasan yang sangat tinggi, ketahanan korosi, stabilitas kimia yang kuat, resistivitas tinggi, dan isolasi listrik yang superior. Mereka biasanya digunakan untuk membuat pelat pemolesan, chuck vakum, lengan keramik, dan bagian yang serupa.

Bahan semikonduktor dapat diklasifikasikan menjadi tiga generasi dalam urutan kronologis. Generasi pertama terdiri dari bahan unsur umum seperti germanium dan silikon, yang ditandai dengan switching yang nyaman dan umumnya digunakan dalam sirkuit terintegrasi. Semikonduktor senyawa generasi kedua seperti gallium arsenida dan indium fosfida terutama digunakan dalam bahan luminescent dan komunikasi.

Perangkat kuarsa memainkan peran penting dalam pembuatan sel surya, menawarkan resistensi termal yang luar biasa, kemurnian kimia, dan stabilitas struktural yang diperlukan dalam proses suhu tinggi. Dari tabung difusi kuarsa dan celah hingga perahu kuarsa dan komponen tungku, bahan-bahan dengan kemurnian tinggi ini sangat penting untuk mencapai efisiensi optimal dalam difusi, CVD, dan langkah etsa basah.

Lapisan TAC hampir sepenuhnya menghilangkan fenomena enkapsulasi karbon dengan mengisolasi kontak langsung antara wadah grafit dan pencairan sic, secara signifikan mengurangi kepadatan cacat mikrotube