Berita

Pelat keramik SIC berpori adalah salah satu bahan inti di bidang manufaktur semikonduktor. Dengan strukturnya yang unik dan sifat fisik yang sangat baik, cakram keramik SIC berpori telah menjadi komponen kunci yang tak tergantikan dalam lingkungan suhu tinggi dan korosif. Dalam artikel ini, kami akan sangat menganalisis sifat fisiknya, skenario aplikasi, dan keuntungan seleksi.

Quartz Boat adalah komponen bantalan beban utama yang digunakan dalam proses pembuatan semikonduktor. Ini terutama digunakan untuk pemrosesan wafer suhu tinggi, seperti difusi, oksidasi dan anil. Stabilitas termal yang sangat baik, karakteristik polusi rendah dan resistensi korosi menjadikannya bahan yang sangat diperlukan dalam industri semikonduktor. Artikel ini akan menguraikan materi, sifat fisik, klasifikasi, skenario aplikasi perahu kuarsa dan perbedaannya dari perahu grafit PECVD.

Bahan inti dari perahu grafit PECVD adalah bahan grafit isotropik dengan kemurnian tinggi (kemurnian biasanya ≥99,999%), yang memiliki konduktivitas listrik yang sangat baik, konduktivitas termal dan kepadatan. Dibandingkan dengan kapal grafit biasa, perahu grafit PECVD memiliki banyak keunggulan properti fisik dan kimia dan terutama digunakan dalam industri semikonduktor dan fotovoltaik, terutama dalam proses PECVD dan CVD.

Baki grafit MOCVD memainkan peran penting dalam proses epitaxial. Artikel ini membuat analisis terperinci tentang pemilihan baki grafit MOCVD dari perspektif sifat material dan skenario aplikasi.

Bahan grafit memiliki berbagai skenario aplikasi. Di antara mereka, grafit isotropik dan grafit silikonisasi adalah dua jenis utama bahan grafit, dan karakteristiknya, skenario aplikasi dan keunggulan berbeda secara signifikan. Blog ini akan melakukan analisis komparatif dari tiga aspek: karakteristik struktural, skenario aplikasi dan keunggulan produk.

Keramik silikon karbida, umumnya dikenal sebagai keramik SiC, adalah bahan serbaguna dengan sifat unik dan berbagai aplikasi di berbagai industri. Berikut ini adalah diskusi terperinci tentang komposisi material, sifat fisik, aplikasi spesifik dan keunggulan dalam proses pelapisan semikonduktor, dan masalah umum yang dihadapi selama pemrosesan.