Berita

Smart Cut adalah proses manufaktur semikonduktor canggih berdasarkan implantasi ion dan pengupasan wafer, yang dirancang khusus untuk produksi wafer 3C-SIC (silikon karbida) yang sangat seragam dan seragam (silikon karbida kubik). Ini dapat mentransfer bahan kristal ultra-tipis dari satu substrat ke substrat lainnya, sehingga melanggar keterbatasan fisik asli dan mengubah seluruh industri substrat.

Dalam persiapan substrat silikon karbida berkualitas tinggi dan hasil tinggi, inti membutuhkan kontrol yang tepat dari suhu produksi dengan bahan medan termal yang baik. Saat ini, kit wadah medan termal yang terutama digunakan adalah komponen struktural grafit dengan kemurnian tinggi, yang fungsinya adalah memanaskan bubuk karbon cair dan bubuk silikon serta mempertahankan panas.

Ketika Anda melihat semikonduktor generasi ketiga, Anda pasti akan bertanya-tanya apa generasi pertama dan kedua. "Generasi" di sini diklasifikasikan berdasarkan bahan yang digunakan dalam manufaktur semikonduktor.

Chuck elektrostatik (ESC), juga dikenal sebagai chuck elektrostatik (ESC, e-chuck), adalah perlengkapan yang menggunakan prinsip adsorpsi elektrostatik untuk menahan dan memperbaiki bahan yang teradsorpsi. Ini cocok untuk lingkungan vakum dan plasma.

Pembawa wafer sic, sebagai bahan habis pakai utama dalam rantai industri semikonduktor generasi ketiga, karakteristik teknis mereka secara langsung mempengaruhi hasil pertumbuhan epitaxial dan pembuatan perangkat. Dengan permintaan yang melonjak untuk perangkat tegangan tinggi dan suhu tinggi di industri seperti stasiun pangkalan 5G dan kendaraan energi baru, penelitian dan penerapan operator wafer SiC sekarang menghadapi peluang pengembangan yang signifikan.

Keramik alumina adalah "pekerja keras" untuk pembuatan komponen keramik. Mereka menunjukkan sifat mekanik yang sangat baik, titik leleh dan kekerasan yang sangat tinggi, ketahanan korosi, stabilitas kimia yang kuat, resistivitas tinggi, dan isolasi listrik yang superior. Mereka biasanya digunakan untuk membuat pelat pemolesan, chuck vakum, lengan keramik, dan bagian yang serupa.