Wafer Piezoelektrik PZT (PZT pada Si/SOI)

1. Arsitektur Teknis

Wafer kami memiliki struktur tumpukan multi-lapisan canggih yang dirancang untuk memastikan adhesi, konduktivitas, dan respons piezoelektrik yang optimal selama pemrosesan MEMS yang kompleks:

 ●Elektroda Atas (Lapisan Kunci): Pt (Platinum).

● Lapisan Piezo (Lapisan Inti): PZT.

● Lapisan Menengah: Termasuk Lapisan Penyangga, Elektroda Bawah, dan Lapisan Adhesi untuk mengoptimalkan orientasi butir dan stabilitas struktur.

● Substrat: Kompatibel dengan wafer Si atau SOI.

2. Penjaminan Mutu & Analisis Struktur Mikro

Kami memastikan keandalan yang tinggi melalui karakterisasi teknis yang ketat:

 ●Analisis SEM: Gambar Scanning Electron Microscopy (SEM) menunjukkan morfologi permukaan yang padat dan bebas retak dengan distribusi ukuran butir yang seragam, ideal untuk aplikasi MEMS dengan keandalan tinggi.

 ●Karakterisasi XRD: Pola Difraksi Sinar-X (XRD) mengkonfirmasi pembentukan fase perovskit murni dengan orientasi pilihan yang kuat (100), memastikan koefisien kinerja piezoelektrik maksimal.

3. Spesifikasi Teknis (Karakteristik)

4. Aplikasi Inti

 ● Transduser Ultrasonik Mesin Mikro Piezoelektrik (pMUT): Susunan miniatur frekuensi tinggi untuk sensor sidik jari, pengenalan gerakan, dan radar ultrasonik otomotif.

 ● Komunikasi: Kunci untuk pembuatan filter FBAR atau SAW dalam 5G/6G untuk mencapai bandwidth yang lebih luas dan kehilangan penyisipan yang lebih rendah.

 ● MEMS Akustik: Memberikan respons transien yang kuat untuk speaker MEMS dan meningkatkan Rasio Signal-to-Noise (SNR) untuk mikrofon MEMS.

 ● Kontrol Cairan Presisi: Getaran berkecepatan tinggi melalui mode d31 untuk kontrol volume tetesan yang presisi pada skala nanoliter di kepala cetak inkjet.

 ● Kedokteran & Kecantikan (Pemompaan mikro): Menggerakan nebulizer medis atau pompa ultrasonik kosmetik dengan keandalan tinggi dan ukuran kompak.

5. Layanan Kustomisasi

Selain deposisi standar pada wafer Si, kami juga menyediakan layanan deposisi khusus:

 ●Kustomisasi Film & Ketebalan: Deposisi jenis film tertentu dan ketebalan khusus sesuai dengan persyaratan desain.

 ●Pengecoran OEM: Penerimaan wafer yang dipasok dari pelanggan untuk pertumbuhan film tipis piezoelektrik berkualitas tinggi.

 ●Dukungan Substrat SOI: Deposisi khusus pada wafer SOI dengan spesifikasi sebagai berikut: