SIC Coating Collector Center

Vetek Semiconductor SIC Coating Collector Center memainkan peran penting dalam produksi proses EPI semikondukor. Ini adalah salah satu komponen utama yang digunakan untuk distribusi gas dan kontrol di ruang reaksi epitaxial.Lapisan sicDanTAC Coatingdi pabrik kami.

Peran Pusat Kolektor Pelapisan SiC adalah sebagai berikut:

● Distribusi gas: SIC Coating Collector Center digunakan untuk memperkenalkan berbagai gas ke dalam ruang reaksi epitaxial. Ini memiliki beberapa inlet dan outlet yang dapat mendistribusikan berbagai gas ke lokasi yang diinginkan untuk memenuhi kebutuhan pertumbuhan epitaxial spesifik.

● Gas kontrol: SIC Coating Collector Center mencapai kontrol yang tepat dari masing -masing gas melalui katup dan perangkat kontrol aliran. Kontrol gas yang tepat ini sangat penting untuk keberhasilan proses pertumbuhan epitaxial untuk mencapai konsentrasi gas dan laju aliran yang diinginkan, memastikan kualitas dan konsistensi film.

● Keseragaman: Desain dan tata letak cincin pengumpul gas pusat membantu mencapai distribusi gas yang seragam. Melalui jalur aliran gas yang wajar dan mode distribusi, gas dicampur secara merata di ruang reaksi epitaxial, sehingga dapat mencapai pertumbuhan film yang seragam.

Dalam pembuatan produk epitaxial, SIC Coating Collector Center memainkan peran kunci dalam kualitas, ketebalan, dan keseragaman film. Melalui distribusi dan kontrol gas yang tepat, Pusat Kolektor Pelapisan SIC dapat memastikan stabilitas dan konsistensiproses pertumbuhan epitaxial, untuk mendapatkan film epitaxial berkualitas tinggi.

Dibandingkan dengan Pusat Kolektor Grafit, Pusat Kolektor yang dilapisi SiC meningkatkan konduktivitas termal, peningkatan inertness kimia, dan resistensi korosi yang unggul. Lapisan silikon karbida secara signifikan meningkatkan kemampuan manajemen termal dari bahan grafit, yang mengarah ke keseragaman suhu yang lebih baik dan pertumbuhan film yang konsisten dalam proses epitaxial. Selain itu, lapisan menyediakan lapisan pelindung yang menolak korosi kimia, memperpanjang umur komponen grafit. Secara keseluruhan,dilapisi silikon karbidaBahan grafit menawarkan konduktivitas termal yang unggul, inertness kimia, dan ketahanan korosi, memastikan peningkatan stabilitas dan pertumbuhan film berkualitas tinggi dalam proses epitaxial.

Struktur kristal film CVD sic:

Sifat fisik dasar pelapisan cvd sic

Itu semikonduktorSIC Coating Collector CenterToko produksi