Dayung Kantilever silikon karbida untuk Pengolahan Wafer

Informasi produk umum

Istilah bisnis produk

Aplikasi: Dayung SiC Veteksemicon adalah komponen kunci dalam manufaktur semikonduktor canggih, yang dirancang untuk proses inti seperti epitaksi perangkat daya SiC, anil suhu tinggi, dan oksidasi gerbang untuk chip berbasis silikon.

Layanan yang dapat diberikan: analisis skenario aplikasi pelanggan, pencocokan materi, pemecahan masalah teknis.

Profil Perusahaan:Saingan saya memiliki 2 laboratorium, tim ahli dengan pengalaman material selama 20 tahun, dengan kemampuan R&D dan produksi, pengujian dan verifikasi.

Parameter Teknis

Keunggulan inti Veteksemi SiC Paddles

 ● Kemurnian tertinggi, melindungi hasil chip

Kami menggunakan proses canggih untuk memproduksi bahan baku silikon karbida, memastikan pengotor logam minimal. Veteksemi SiC Paddles secara efektif menekan pengendapan kotoran di lingkungan bersuhu tinggi untuk waktu yang lama, mencegah kontaminasi wafer sensitif dan memastikan produksi hasil tinggi dari sumbernya.

● Ketahanan panas yang sangat baik untuk menghadapi tantangan ekstrem

Silikon karbida sendiri memiliki sifat tahan suhu tinggi yang melampaui kebanyakan bahan keramik. Paddle kami dapat dengan mudah menangani suhu proses hingga 1600°C, memiliki koefisien ekspansi termal yang sangat rendah, dan menunjukkan ketahanan guncangan termal yang luar biasa selama siklus pemanasan dan pendinginan cepat yang berulang, meminimalkan risiko deformasi dan retak serta memperpanjang masa pakai.

● Kekuatan mekanik yang luar biasa untuk memastikan transmisi stabil

Dengan kekakuan dan kekerasan yang sangat tinggi, ia mempertahankan stabilitas morfologi yang sangat baik bahkan ketika wafer terisi penuh. Hal ini memastikan penyelarasan wafer secara tepat selama transfer otomatis, memungkinkan wafer masuk dan keluar tungku dengan lancar, mengurangi risiko kerusakan akibat getaran atau penyimpangan.

● Ketahanan korosi yang sangat baik, masa pakai lebih lama

Dayung VetekSemicon SiC menunjukkan kelembaman kimia yang kuat dengan adanya atmosfer korosif seperti oksigen dan hidrogen yang biasa ditemukan dalam proses oksidasi dan difusi, dengan tingkat erosi permukaan yang sangat rendah. Hal ini memastikan dimensi dan kinerja yang stabil selama penggunaan jangka panjang, sehingga mengurangi keseluruhan biaya kepemilikan Anda secara signifikan.

Bidang aplikasi utama

Dukungan verifikasi rantai ekologi

Verifikasi rantai ekologi dayung Veteksemicon SiC mencakup bahan mentah hingga produksi, telah lulus sertifikasi standar internasional, dan memiliki sejumlah teknologi yang dipatenkan untuk memastikan keandalan dan keberlanjutannya di bidang semikonduktor dan energi baru.

Untuk spesifikasi teknis terperinci, kertas putih, atau pengaturan pengujian sampel, silakan hubungi Tim Dukungan Teknis kami untuk mempelajari bagaimana Veteksemicon dapat meningkatkan efisiensi proses Anda.