Apa aplikasi spesifik bagian yang dilapisi TAC di bidang semikonduktor?

Sifat fisik pelapis tantalum carbide (TAC)

Aplikasi lapisan Tantalum carbide (TAC) di bidang semikonduktor

1. Komponen Reaktor Pertumbuhan Epitaxial

Lapisan TAC banyak digunakan dalam komponen reaktor uap uap kimia (CVD) dari epitaxial epitaxial dan silicon carbide (SiC), termasuk, termasuk, termasuk, termasukOperator Wafer, parabola, nozel, dan sensor. Komponen -komponen ini membutuhkan daya tahan dan stabilitas yang sangat tinggi dalam lingkungan suhu tinggi dan korosif. Pelapisan TAC dapat secara efektif memperpanjang masa pakai mereka dan meningkatkan hasil.

2. Komponen pertumbuhan kristal tunggal

Dalam proses pertumbuhan kristal tunggal bahan seperti SiC, Gan dan aluminium nitrida (AIN),TAC Coatingditerapkan pada komponen -komponen utama seperti celah, pemegang kristal benih, cincin pemandu dan filter. Bahan grafit dengan lapisan TAC dapat mengurangi migrasi pengotor, meningkatkan kualitas kristal dan mengurangi kepadatan cacat.

3. Komponen Industri Suhu Tinggi

Lapisan TAC dapat digunakan dalam aplikasi industri suhu tinggi seperti elemen pemanasan resistif, nozel injeksi, cincin pelindung dan perlengkapan yang membingungkan. Komponen-komponen ini perlu mempertahankan kinerja yang baik di lingkungan suhu tinggi, dan ketahanan panas TAC dan resistensi korosi menjadikannya pilihan yang ideal.

4. Pemanas dalam sistem MOCVD

Pemanas grafit yang dilapisi TAC telah berhasil diperkenalkan dalam sistem deposisi uap bahan kimia organik logam (MOCVD). Dibandingkan dengan pemanas tradisional yang dilapisi PBN, pemanas TAC dapat memberikan efisiensi dan keseragaman yang lebih baik, mengurangi konsumsi daya, dan mengurangi emisivitas permukaan, sehingga meningkatkan integritas.

5. Operator Wafer

Pembawa wafer berlapis TAC memainkan peran penting dalam persiapan bahan semikonduktor generasi ketiga seperti SiC, AIN dan GAN. Studi telah menunjukkan bahwa tingkat korosiPelapis TACDalam lingkungan amonia dan hidrogen suhu tinggi jauh lebih rendah daripadaPelapis sic, yang membuatnya menunjukkan stabilitas dan daya tahan yang lebih baik dalam penggunaan jangka panjang.