Tungku Tekan Panas Vakum Ikatan Kristal Biji Silikon Karbida

Teknologi pengikatan benih SiC adalah salah satu proses utama yang mempengaruhipertumbuhan kristal.VETEK telah mengembangkan spesialisasitungku pengepres panas vakumuntuk pengikatan benih berdasarkan karakteristik proses ini. Tungku dapat secara efektif mengurangi berbagai cacat yang ditimbulkan selama proses pengikatan benih, sehingga meningkatkan hasil dan kualitas akhir kristal ingot.

Memperkenalkan

1. Tungku digunakan untuk pengikatan benih sebelumnyapertumbuhan kristal SiC

2.Benih yang diikat dapat tetap menempel kuat pada suhu 2300℃, mempertahankan daya rekat 100% tanpa gelembung udara, dengan kerataan tinggi, permukaan benih bersih, dan tidak ada kotoran yang teradsorpsi

3. Bentuk pelat yang dipanaskan mengadopsi ketahanan terhadap pemanasan berbentuk cakram spiral, zona pemanasan seragam, aman digunakan, mudah dioperasikan

4. Bagian bawah bentuk pelat beban dilengkapi dengan sensor gaya, gaya tekan ke bawah pada benda kerja ditampilkan secara presisi 

Pengenalan Fungsi

1. Ruang logam berdinding ganda berpendingin air mengurangi suhu permukaan luar badan tungku secara efektif, meminimalkan bahaya suhu tinggi dan menurunkan dampak terhadap lingkungan.

2. Dapat mencapai peningkatan otomatis gaya tekan ke bawah dan penahan gaya, gaya pemuatan lambat, dan perpindahan dapat dikontrol secara otomatis.

3. Konfigurasi vakum yang terdiversifikasi tersedia, dan tingkat vakum yang berbeda dapat dipilih sesuai dengan prosesnya.

4. Tekanan seragam dan akurasi kontrol suhu tinggi.

5. Struktur downforce mengadopsi desain dorong mekanis yang presisi, memastikan downforce yang akurat dan stabil, penggunaan yang aman, dan ramah lingkungan.

6. Stempel bawah dihubungkan ke batang dorong dengan cara "universal". Hal ini memastikan ketika benda kerja ditekan, permukaan stempel bawah berada di bawah paralel adaptif dengan permukaan bentuk pelat yang dipanaskan, memastikan benda kerja memiliki gaya tekan ke bawah yang seragam.

7. Stempel bawah memiliki fungsi buffering pemuatan downforce, memberikan downforce halus dan lembut tanpa dampak, sehingga mencegah retaknya benda kerja.

9. Baik bentuk pelat yang dipanaskan maupun stempel gaya bawah dilengkapi dengan pelindung insulasi termal untuk mengurangi hilangnya suhu yang tidak efektif.

Parameter

Fitur

1. Pemompaan vakum lambat, laju pemompaan vakum dapat disesuaikan

2. Ruang besar, ruang peningkatan besar

3. Stempel bawah berjalan stabil dan beroperasi secara otomatis

4. Relief downforce lambat dan peningkatan lambat, jalan downforce sesuai dengan kontrol otomatis resep

5. Kontrol suhu dan gaya tekan yang diprogram secara tepat

6. Parameter vakum, gaya tekan ke bawah, dan suhu dapat diatur secara bebas agar sesuai dengan proses ikatan yang berbeda

7. Ikatannya padat dan bebas gelembung

8.Tingkat keretakan sangat rendah, hampir tidak ada keretakan yang disebabkan oleh masalah peralatan

9. Kompatibel dengan ikatan benih 6-12 inci

10.Maks. gaya tekan ke bawah：1,6 T

11. Vakum tertinggi ：5 Pa (dingin)

12. Keseragaman suhu bentuk pelat yang dipanaskan：＜±3℃，σ<4（200℃）

13. Fluktuasi tekanan ：<0,5%