Dukungan Grafit TAC

Anda disambut untuk datang ke semikonduktor VETEK pabrik kami untuk membeli penjualan terbaru, harga murah, dan kerentanan grafit berlapis TAC berkualitas tinggi. Kami berharap dapat bekerja sama dengan Anda.

Titik leleh bahan keramik tantalum karbida hingga 3880℃, merupakan titik leleh yang tinggi dan kestabilan kimia senyawa yang baik, lingkungan suhu tinggi masih dapat mempertahankan kinerja yang stabil, selain itu juga memiliki ketahanan suhu tinggi, ketahanan korosi kimia, bahan kimia yang baik dan kompatibilitas mekanis dengan bahan karbon dan karakteristik lainnya, menjadikannya bahan pelapis pelindung substrat grafit yang ideal. Lapisan tantalum karbida dapat secara efektif melindungi komponen grafit dari pengaruh amonia panas, uap hidrogen dan silikon serta logam cair di lingkungan penggunaan yang keras, secara signifikan memperpanjang masa pakai komponen grafit, dan menghambat migrasi pengotor dalam grafit, memastikan kualitas epitaksi dan pertumbuhan kristal. Ini terutama digunakan dalam proses keramik basah.

Deposisi uap kimia (CVD) adalah metode persiapan paling matang dan optimal untuk pelapisan tantalum karbida pada permukaan grafit.

Metode Coating CVD TAC untuk TAC Coated Graphite Ronsceptor:

Proses pelapisan menggunakan Tacl5 dan propilena sebagai sumber karbon dan sumber tantalum masing -masing, dan argon sebagai gas pembawa untuk membawa uap tantalum pentachloride ke dalam ruang reaksi setelah gasifikasi suhu tinggi. Di bawah suhu dan tekanan target, uap bahan prekursor diadsorpsi pada permukaan bagian grafit, dan serangkaian reaksi kimia kompleks seperti dekomposisi dan kombinasi sumber karbon dan sumber tantalum terjadi. Pada saat yang sama, serangkaian reaksi permukaan seperti difusi prekursor dan desorpsi produk sampingan juga terlibat. Akhirnya, lapisan pelindung yang padat terbentuk pada permukaan bagian grafit, yang melindungi bagian grafit dari stabil di bawah kondisi lingkungan yang ekstrem. Skenario aplikasi bahan grafit secara signifikan diperluas.

Parameter produk Susceptor Grafit Berlapis TaC:

Toko Produksi:

Tinjauan umum rantai industri epikonduktor Chip Epitaxy: