Ring Panduan Pelapisan TAC

VeTek Semiconductor adalah Cincin Panduan Pelapisan TaC China profesional, Wadah pelapis TaC, produsen dan pemasok pemegang benih.

TAC Coating Crucible, Seed Holder dan TAC Coating Guide Ring di SIC dan AIN tungku kristal tunggal ditanam dengan metode PVT.

Ketika metode transpor uap fisik (PVT) digunakan untuk menyiapkan SiC, kristal benih berada di wilayah bersuhu relatif rendah, dan bahan baku SiC berada di wilayah bersuhu relatif tinggi (di atas 2400 ℃). Dekomposisi bahan mentah menghasilkan SiXCy (terutama termasuk Si, SiC₂, Si₂C, dll.). Bahan fase uap diangkut dari daerah bersuhu tinggi ke kristal benih di daerah bersuhu rendah, dan berinti serta tumbuh. Untuk membentuk kristal tunggal. Bahan medan termal yang digunakan dalam proses ini, seperti wadah, cincin pemandu aliran, tempat kristal benih, harus tahan terhadap suhu tinggi dan tidak akan mencemari bahan baku SiC dan kristal tunggal SiC. Demikian pula, elemen pemanas dalam pertumbuhan kristal tunggal AlN harus tahan terhadap uap Al, korosi N₂, dan harus memiliki suhu eutektik (dan AlN) yang tinggi untuk mempersingkat periode persiapan kristal.

Ditemukan bahwa SiC dan AlN yang dibuat oleh bahan medan termal grafit berlapis TaC lebih bersih, hampir tidak ada karbon (oksigen, nitrogen) dan pengotor lainnya, cacat tepi lebih sedikit, resistivitas lebih kecil di setiap wilayah, dan kepadatan mikropori dan kepadatan lubang etsa adalah berkurang secara signifikan (setelah etsa KOH), dan kualitas kristal meningkat pesat. Selain itu, laju penurunan berat wadah TaC hampir nol, tampilannya tidak merusak, dapat didaur ulang (masa pakai hingga 200 jam), dapat meningkatkan keberlanjutan dan efisiensi preparasi kristal tunggal tersebut.

Parameter produk dari cincin panduan pelapis TAC:

Toko produksi:

Tinjauan umum rantai industri epikonduktor Chip Epitaxy: