Kapal Wafer Kuarsa Kemurnian Tinggi

Perahu Wafer Kuarsa Kemurnian Tinggi VeTek Semiconductor terbuat dari kuarsa dengan kemurnian sangat tinggi, yang memiliki karakteristik kandungan hidroksil rendah, kemurnian tinggi, dan ketahanan suhu tinggi yang kuat. Material ini juga banyak digunakan dalam industri semikonduktor sebagai material tungku difusi dan komponen tungku CVD. Sebagai wadah untuk membawa wafer silikon, wafer perahu Kuarsa dengan kemurnian tinggi telah digunakan dalam bidang semikonduktor, fotovoltaik, kimia, dan lainnya.

Skenario Aplikasi

Pertama adalah bidang semikonduktor. Proses perlakuan panas wafer sangat penting, termasuk oksidasi termal, difusi, anil, dll. Melalui proses perlakuan panas, kami memberikan karakteristik baru wafer.

Tabung inti tungku batch digunakan untuk proses pemrosesan wafer semikonduktor seperti oksidasi termal, difusi suhu tinggi, anil, dan deposisi film tipis. Tungku pemanas batch terutama digunakan untuk memanaskan badan tungku dengan kumparan untuk menyelesaikan perlakuan panas. Menurut struktur kerja yang berbeda, tabung inti tungku batch dapat dibagi menjadi tungku horizontal dan tungku vertikal:

(1) Perahu Wafer Kuarsa dengan kemurnian tinggi dari tungku horizontal ditempatkan secara horizontal, sehingga disebut tungku horizontal.

Dalam proses perlakuan panas, wafer dimuat ke Perahu Wafer Kuarsa dengan kemurnian tinggi, perlahan-lahan dikirim ke dalam tabung tungku kuarsa, dan wafer ditempatkan di zona suhu konstan untuk diproses. Setelah menunggu proses selesai, Wafer yang menggunakan perahu kuarsa dikeluarkan secara perlahan dari tungku kuarsa untuk mencegah kerusakan wafer akibat perubahan suhu yang tiba-tiba. Tungku horizontal banyak digunakan dalam proses difusi sirkuit terpadu dengan diameter wafer kurang dari 200mm. 

Keuntungan dari tungku horizontal adalah proses sederhana, keseragaman yang baik antara wafer, dan kemampuan untuk memproses beberapa wafer pada saat yang sama. Kerugiannya adalah kecepatan pemanasan yang lambat, ukuran peralatan yang besar, kesulitan otomatisasi, dan masuknya udara eksternal yang mudah saat memuat dan membongkar wafer.

(2) Perahu wafer kuarsa kemurnian tinggi dari tungku vertikal ditempatkan secara vertikal, sehingga disebut tungku vertikal.

Wafer dimuat ke menara kuarsa dan perlahan-lahan naik ke tabung tungku kuarsa untuk pemanasan. Selama proses pemanasan, Perahu Wafer Kuarsa Kemurnian Tinggi akan berputar perlahan untuk memastikan wafer dipanaskan secara merata. Setelah diproses, menara kuarsa akan turun secara perlahan untuk menghindari perubahan suhu yang dapat menyebabkan kerusakan wafer. Tungku vertikal terutama digunakan dalam proses sirkuit terpadu wafer berdiameter 200mm dan 300mm. Teknologi inti tungku vertikal terletak pada kontrol bidang suhu presisi tinggi, kontrol partikel, kontrol mikro-oksigen lingkungan mikro, dan motorisasi. Keuntungan dari tungku vertikal adalah lapisan oksida alami yang tipis, keseragaman yang baik, otomatisasi yang lebih mudah, jejak peralatan yang kecil, dan pemrosesan batch. Kerugiannya adalah kecepatan pemanasannya lambat.

Di bidang fotovoltaik, proses produksi sel fotovoltaik memerlukan perahu kuarsa untuk membawa dan mengangkut wafer silikon dalam proses difusi suhu tinggi. Perlakuan suhu tinggi dalam atmosfer nitrogen, oksigen, atau gas inert lainnya dengan kemurnian tinggi, seperti difusi fosfor atau difusi boron, merupakan langkah penting dalam proses pembuatan sel surya. Tujuannya adalah untuk membentuk sambungan PN pada wafer silikon.

Kapal kuarsa memiliki slot yang dirancang dengan tepat di dalamnya untuk memastikan bahwa wafer silikon mempertahankan posisi yang tepat selama proses difusi suhu tinggi dan dipanaskan secara merata. Karena bahan kuarsa memiliki resistensi suhu tinggi yang baik dan stabilitas kimia, itu tidak akan mencemari wafer silikon, yang kondusif untuk menjaga kebersihan yang tinggi dari lingkungan produksi.

Sebagai inovator dan pemimpin di China's Wafer menggunakan pasar perahu kuarsa, apakah Anda terlibat dalam industri semikonduktor atau industri fotovoltaik, selama Anda membutuhkan perahu wafer kuarsa kemurnian yang tinggi, silakan minta penawaran dan kami akan dapat menyesuaikan itu untuk Anda sesuai dengan kebutuhan Anda.

Semikonduktor VeTek toko produk: