Pembawa perahu wafer kemurnian tinggi

Veteksemi High Purity SiC Wafer Boat Carrier adalah komponen bantalan penting yang digunakan dalam tungku anil, tungku difusi dan peralatan lainnya dalam proses pembuatan semikonduktor. Pembawa perahu wafer kemurnian tinggi biasanya terbuat dari bahan silikon karbida kemurnian tinggi dan terutama mencakup bagian -bagian berikut:

• Tubuh Dukungan Perahu: Struktur yang mirip dengan braket, digunakan secara khusus untuk dibawaSilicon Wafersatau bahan semikonduktor lainnya.

• Struktur pendukung: Desain struktur pendukungnya memungkinkannya menahan beban berat pada suhu tinggi dan tidak akan berubah bentuk atau rusak selama perlakuan suhu tinggi.

bahan silikon karbida

Sifat fisikRekristalisasi silikon karbida：

Jika persyaratan proses produksi lebih tinggi,CVD SIC COATINGdapat dilakukan pada pembawa perahu wafer SiC dengan kemurnian tinggi untuk membuat kemurnian mencapai lebih dari 99,99995%, sehingga semakin meningkatkan ketahanan suhu tinggi.

Sifat fisik dasar pelapisan cvd sic:

Selama perlakuan suhu tinggi, pembawa perahu wafer SiC dengan kemurnian tinggi memungkinkan wafer silikon dipanaskan secara merata untuk menghindari panas berlebih lokal. Selain itu, bahan silikon karbida yang tahan suhu tinggi memungkinkannya menjaga stabilitas struktural pada suhu 1200°C atau bahkan lebih tinggi.

Selama proses difusi atau anil, dayung kantilever dan pengangkut perahu wafer SiC dengan kemurnian tinggi bekerja sama. ItuCantilever PaddlePerlahan -lahan mendorong pembawa perahu wafer kemurnian tinggi yang membawa wafer silikon ke dalam ruang tungku dan menghentikannya pada posisi yang ditentukan untuk diproses. 

Pembawa perahu wafer SIC yang murni mempertahankan kontak dengan wafer silikon dan difiksasi dalam posisi tertentu selama proses perlakuan panas, sedangkan dayung kantilever membantu menjaga seluruh struktur di posisi yang tepat sambil memastikan keseragaman suhu.

Pengangkut perahu wafer SiC dengan kemurnian tinggi dan dayung kantilever bekerja sama untuk memastikan keakuratan dan stabilitas proses suhu tinggi.

Vetek Semiconductor memberi Anda pembawa perahu wafer kemurnian tinggi yang disesuaikan sesuai dengan kebutuhan Anda. Menantikan pertanyaan Anda.

Semikonduktor VeTekToko pengangkut perahu wafer SiC dengan kemurnian tinggi: