Berita Industri

Chuck elektrostatik (ESC), juga dikenal sebagai chuck elektrostatik (ESC, e-chuck), adalah perlengkapan yang menggunakan prinsip adsorpsi elektrostatik untuk menahan dan memperbaiki bahan yang teradsorpsi. Ini cocok untuk lingkungan vakum dan plasma.

Pembawa wafer sic, sebagai bahan habis pakai utama dalam rantai industri semikonduktor generasi ketiga, karakteristik teknis mereka secara langsung mempengaruhi hasil pertumbuhan epitaxial dan pembuatan perangkat. Dengan permintaan yang melonjak untuk perangkat tegangan tinggi dan suhu tinggi di industri seperti stasiun pangkalan 5G dan kendaraan energi baru, penelitian dan penerapan operator wafer SiC sekarang menghadapi peluang pengembangan yang signifikan.

Keramik alumina adalah "pekerja keras" untuk pembuatan komponen keramik. Mereka menunjukkan sifat mekanik yang sangat baik, titik leleh dan kekerasan yang sangat tinggi, ketahanan korosi, stabilitas kimia yang kuat, resistivitas tinggi, dan isolasi listrik yang superior. Mereka biasanya digunakan untuk membuat pelat pemolesan, chuck vakum, lengan keramik, dan bagian yang serupa.