Oksidasi dan tungku difusi

Tungku oksidasi dan difusi digunakan di berbagai bidang seperti perangkat semikonduktor, perangkat diskrit, perangkat optoelektronik, perangkat elektronik daya, sel surya, dan pembuatan sirkuit terintegrasi skala besar. Mereka digunakan untuk proses termasuk difusi, oksidasi, anil, paduan, dan sintering wafer.

Vetek Semiconductor adalah produsen terkemuka yang berspesialisasi dalam produksi grafit dengan kemurnian tinggi, silikon karbida dan komponen kuarsa dalam oksidasi dan tungku difusi. Kami berkomitmen untuk menyediakan komponen tungku berkualitas tinggi untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik, dan berada di garis depan teknologi pelapisan permukaan, seperti CVD-SIC, CVD-TAC, pyrocarbon, dll.

Keuntungan komponen silikon semikonduktor vetek:

● Resistensi suhu tinggi (hingga 1600 ℃)

● Konduktivitas termal yang sangat baik dan stabilitas termal

● Resistensi korosi kimia yang baik

● Koefisien ekspansi termal yang rendah

● Kekuatan dan kekerasan tinggi

● Umur Layanan Panjang

Dalam oksidasi dan tungku difusi, karena adanya suhu tinggi dan gas korosif, banyak komponen memerlukan penggunaan bahan suhu tinggi dan tahan korosi, di antaranya silikon karbida (SiC) adalah pilihan yang umum digunakan. Berikut ini adalah komponen silikon karbida umum yang ditemukan dalam tungku oksidasi dan tungku difusi:

● Kapal Wafer

Silicon Carbide Wafer Boat adalah wadah yang digunakan untuk membawa wafer silikon, yang dapat menahan suhu tinggi dan tidak akan bereaksi dengan wafer silikon.

● Tabung tungku

Tabung tungku adalah komponen inti dari tungku difusi, yang digunakan untuk mengakomodasi wafer silikon dan mengontrol lingkungan reaksi. Tabung tungku silikon karbida memiliki kinerja resistensi suhu tinggi dan korosi yang sangat baik.

● Pelat Baffle

Digunakan untuk mengatur aliran udara dan distribusi suhu di dalam tungku

● Tabung perlindungan termokopel

Digunakan untuk melindungi suhu yang mengukur termokopel dari kontak langsung dengan gas korosif.

● Cantilever Paddle

Silikon karbida kantilever dayung tahan terhadap suhu tinggi dan korosi, dan digunakan untuk mengangkut kapal silikon atau perahu kuarsa yang membawa wafer silikon ke dalam tabung tungku difusi.

● Injektor gas

Digunakan untuk memperkenalkan gas reaksi ke dalam tungku, ia harus tahan terhadap suhu tinggi dan korosi.

● Pembawa perahu

Pembawa perahu wafer silikon karbida digunakan untuk memperbaiki dan mendukung wafer silikon, yang memiliki keunggulan seperti kekuatan tinggi, ketahanan korosi, dan stabilitas struktural yang baik.

● Pintu tungku

Pelapis atau komponen silikon karbida juga dapat digunakan di bagian dalam pintu tungku.

● Elemen pemanas

Elemen pemanas silikon karbida cocok untuk suhu tinggi, daya tinggi, dan dapat dengan cepat meningkatkan suhu menjadi lebih dari 1000 ℃.

● SIC Liner

Digunakan untuk melindungi dinding bagian dalam tabung tungku, ini dapat membantu mengurangi hilangnya energi panas dan menahan lingkungan yang keras seperti suhu tinggi dan tekanan tinggi.

View as

Perahu Wafer Keramik Silikon Karbida

Vetek Semiconductor berspesialisasi dalam menyediakan kapal wafer berkualitas tinggi, alas-alas, dan pembawa wafer khusus dalam konfigurasi vertikal/kolom dan horizontal untuk memenuhi berbagai persyaratan proses semikonduktor. Sebagai produsen dan pemasok terkemuka film pelapis silikon karbida, kapal wafer keramik silikon karbida kami disukai oleh pasar Eropa dan Amerika untuk efektivitas biaya tinggi dan kualitas yang sangat baik, dan banyak digunakan dalam proses manufaktur semikonduktor canggih. Vetek Semiconductor berkomitmen untuk membangun hubungan kerja sama jangka panjang dan stabil dengan pelanggan global, dan terutama berharap untuk menjadi mitra proses semikonduktor Anda yang andal di Cina.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

Silikon karbida (sic) cantilever dayung

Peran Silicon Carbide (SiC) Cantilever Paddle dalam industri semikonduktor adalah untuk mendukung dan mengangkut wafer. Dalam proses suhu tinggi seperti difusi dan oksidasi, dayung kantilever SiC dapat membawa perahu wafer dan wafer secara stabil tanpa deformasi atau kerusakan karena suhu tinggi, memastikan kelancaran proses. Membuat difusi, oksidasi, dan proses lainnya menjadi lebih seragam sangat penting untuk meningkatkan konsistensi dan hasil pemrosesan wafer. VeTek Semiconductor menggunakan teknologi canggih untuk membuat dayung kantilever SiC dengan silikon karbida dengan kemurnian tinggi untuk memastikan wafer tidak akan terkontaminasi. VeTek Semiconductor menantikan kerjasama jangka panjang dengan Anda dalam produk Cantilever Paddle Silicon Carbide (SiC).

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

Kuarsa Crucible

Vetek Semiconductor adalah pemasok dan produsen wadah kuarsa terkemuka di Cina. Cawan lebur kuarsa yang kami hasilkan terutama digunakan di bidang semikonduktor dan fotovoltaik. Mereka memiliki sifat kebersihan dan ketahanan suhu tinggi. Dan wadah kuarsa kami untuk semikonduktor mendukung proses produksi penarik batang silikon, pemuatan dan pembongkaran bahan baku polisilikon dalam proses produksi wafer silikon semikonduktor, dan merupakan bahan habis pakai utama untuk produksi wafer silikon. Vetek Semiconductor berharap untuk menjadi mitra jangka panjang Anda di Cina.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

Pembawa wafer silikon karbida

Sebagai pemasok pembawa wafer Silikon Karbida profesional di Cina, pembawa wafer Semikonduktor SiC VeTek adalah alat yang khusus digunakan untuk menangani dan memproses wafer semikonduktor, yang memainkan peran tak tergantikan dalam proses wafer semikonduktor. Selamat datang di konsultasi Anda selanjutnya.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

Alas Silikon

Alas Silikon Semikonduktor VeTek adalah komponen kunci dalam proses difusi dan oksidasi semikonduktor. Sebagai platform khusus untuk membawa perahu silikon dalam tungku bersuhu tinggi, Silicon Pedestal memiliki banyak keunggulan unik, termasuk peningkatan keseragaman suhu, kualitas wafer yang dioptimalkan, dan peningkatan kinerja perangkat semikonduktor. Untuk informasi produk lebih lanjut, jangan ragu untuk menghubungi kami.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

Cincin segel keramik sic

Sebagai pabrik berskala besar dan pemasok produk cincin segel keramik SiC di Cina, Vetek semikonduktor SIC Ceramic Seal Ring memiliki berbagai aplikasi di bidang industri karena konduktivitas termal yang sangat baik, resistansi kimia dan korosi yang luar biasa, dan kekuatan dan kekakuan tinggi. Selamat datang pertanyaan Anda lebih lanjut.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Sebagai produsen dan pemasok profesional Oksidasi dan tungku difusi di Cina, kami memiliki pabrik kami sendiri. Apakah Anda memerlukan layanan khusus untuk memenuhi kebutuhan spesifik wilayah Anda atau ingin membeli Oksidasi dan tungku difusi lanjutan dan tahan lama yang dibuat di Cina, Anda dapat meninggalkan pesan kepada kami.

Kode QR

Tentang kami

Produk

Hubungi kami

Telepon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
Surel
anny@veteksemi.com
Alamat
Jalan Wangda, Jalan Ziyang, Wilayah Wuyi, Kota Jinhua, Provinsi Zhejiang, Cina

Menu Web

Pencarian Produk

Bahasa

Menu Keluar

Oksidasi dan tungku difusi

Keuntungan komponen silikon semikonduktor vetek:

Perahu Wafer Keramik Silikon Karbida

Silikon karbida (sic) cantilever dayung

Kuarsa Crucible

Pembawa wafer silikon karbida

Alas Silikon

Cincin segel keramik sic

mengirimkan permintaan

Kode QR

Tentang kami

Produk

Hubungi kami

Telepon

Fax

Surel

Alamat