Tungku Oksidasi dan Difusi

Tungku Oksidasi dan Difusi digunakan di berbagai bidang seperti perangkat semikonduktor, perangkat diskrit, perangkat optoelektronik, perangkat elektronika daya, sel surya, dan manufaktur sirkuit terpadu skala besar. Mereka digunakan untuk proses termasuk difusi, oksidasi, anil, paduan, dan sintering wafer.

VeTek Semiconductor adalah produsen terkemuka yang mengkhususkan diri dalam produksi komponen grafit, silikon karbida, dan kuarsa dengan kemurnian tinggi dalam tungku oksidasi dan difusi. Kami berkomitmen untuk menyediakan komponen tungku berkualitas tinggi untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik, dan menjadi yang terdepan dalam teknologi pelapisan permukaan, seperti CVD-SiC, CVD-TaC, pirokarbon, dll.

Keunggulan komponen silikon karbida Semikonduktor VeTek:

Ketahanan suhu tinggi (hingga 1600 ℃)

Konduktivitas termal dan stabilitas termal yang sangat baik

Ketahanan korosi kimia yang baik

Koefisien ekspansi termal yang rendah

Kekuatan dan kekerasan tinggi

Umur panjang

Dalam tungku oksidasi dan difusi, karena adanya suhu tinggi dan gas korosif, banyak komponen memerlukan penggunaan bahan bersuhu tinggi dan tahan korosi, di antaranya silikon karbida (SiC) adalah pilihan yang umum digunakan. Berikut ini adalah komponen silikon karbida yang umum ditemukan pada tungku oksidasi dan tungku difusi:

Perahu Wafer

Perahu wafer silikon karbida merupakan wadah yang digunakan untuk membawa wafer silikon, yang tahan terhadap suhu tinggi dan tidak akan bereaksi dengan wafer silikon.

Tabung Tungku

Tabung tungku adalah komponen inti dari tungku difusi, digunakan untuk menampung wafer silikon dan mengontrol lingkungan reaksi. Tabung tungku silikon karbida memiliki kinerja suhu tinggi dan ketahanan korosi yang sangat baik.

Pelat Penyekat

Digunakan untuk mengatur aliran udara dan distribusi suhu di dalam tungku

Tabung Perlindungan Termokopel

Digunakan untuk melindungi termokopel pengukur suhu dari kontak langsung dengan gas korosif.

Dayung Kantilever

Dayung kantilever silikon karbida tahan terhadap suhu tinggi dan korosi, dan digunakan untuk mengangkut perahu silikon atau perahu kuarsa yang membawa wafer silikon ke dalam tabung tungku difusi.

Injektor Gas

Digunakan untuk memasukkan gas reaksi ke dalam tungku, tungku harus tahan terhadap suhu tinggi dan korosi.

Pengangkut Perahu

Pengangkut perahu wafer silikon karbida digunakan untuk memperbaiki dan menopang wafer silikon, yang memiliki keunggulan seperti kekuatan tinggi, ketahanan korosi, dan stabilitas struktural yang baik.

Pintu Tungku

Pelapis atau komponen silikon karbida juga dapat digunakan di bagian dalam pintu tungku.

Elemen pemanas

Elemen pemanas silikon karbida cocok untuk suhu tinggi, daya tinggi, dan dapat dengan cepat menaikkan suhu hingga lebih dari 1000℃.

Lapisan SiC

Digunakan untuk melindungi dinding bagian dalam tabung tungku, dapat membantu mengurangi hilangnya energi panas dan tahan terhadap lingkungan yang keras seperti suhu tinggi dan tekanan tinggi.