Oksidasi dan tungku difusi

Tungku oksidasi dan difusi digunakan di berbagai bidang seperti perangkat semikonduktor, perangkat diskrit, perangkat optoelektronik, perangkat elektronik daya, sel surya, dan pembuatan sirkuit terintegrasi skala besar. Mereka digunakan untuk proses termasuk difusi, oksidasi, anil, paduan, dan sintering wafer.

Vetek Semiconductor adalah produsen terkemuka yang berspesialisasi dalam produksi grafit dengan kemurnian tinggi, silikon karbida dan komponen kuarsa dalam oksidasi dan tungku difusi. Kami berkomitmen untuk menyediakan komponen tungku berkualitas tinggi untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik, dan berada di garis depan teknologi pelapisan permukaan, seperti CVD-SIC, CVD-TAC, pyrocarbon, dll.

Keuntungan komponen silikon semikonduktor vetek:

● Resistensi suhu tinggi (hingga 1600 ℃)

● Konduktivitas termal yang sangat baik dan stabilitas termal

● Resistensi korosi kimia yang baik

● Koefisien ekspansi termal yang rendah

● Kekuatan dan kekerasan tinggi

● Umur Layanan Panjang

Dalam oksidasi dan tungku difusi, karena adanya suhu tinggi dan gas korosif, banyak komponen memerlukan penggunaan bahan suhu tinggi dan tahan korosi, di antaranya silikon karbida (SiC) adalah pilihan yang umum digunakan. Berikut ini adalah komponen silikon karbida umum yang ditemukan dalam tungku oksidasi dan tungku difusi:

● Kapal Wafer

Silicon Carbide Wafer Boat adalah wadah yang digunakan untuk membawa wafer silikon, yang dapat menahan suhu tinggi dan tidak akan bereaksi dengan wafer silikon.

● Tabung tungku

Tabung tungku adalah komponen inti dari tungku difusi, yang digunakan untuk mengakomodasi wafer silikon dan mengontrol lingkungan reaksi. Tabung tungku silikon karbida memiliki kinerja resistensi suhu tinggi dan korosi yang sangat baik.

● Pelat Baffle

Digunakan untuk mengatur aliran udara dan distribusi suhu di dalam tungku

● Tabung perlindungan termokopel

Digunakan untuk melindungi suhu yang mengukur termokopel dari kontak langsung dengan gas korosif.

● Cantilever Paddle

Silikon karbida kantilever dayung tahan terhadap suhu tinggi dan korosi, dan digunakan untuk mengangkut kapal silikon atau perahu kuarsa yang membawa wafer silikon ke dalam tabung tungku difusi.

● Injektor gas

Digunakan untuk memperkenalkan gas reaksi ke dalam tungku, ia harus tahan terhadap suhu tinggi dan korosi.

● Pembawa perahu

Pembawa perahu wafer silikon karbida digunakan untuk memperbaiki dan mendukung wafer silikon, yang memiliki keunggulan seperti kekuatan tinggi, ketahanan korosi, dan stabilitas struktural yang baik.

● Pintu tungku

Pelapis atau komponen silikon karbida juga dapat digunakan di bagian dalam pintu tungku.

● Elemen pemanas

Elemen pemanas silikon karbida cocok untuk suhu tinggi, daya tinggi, dan dapat dengan cepat meningkatkan suhu menjadi lebih dari 1000 ℃.

● SIC Liner

Digunakan untuk melindungi dinding bagian dalam tabung tungku, ini dapat membantu mengurangi hilangnya energi panas dan menahan lingkungan yang keras seperti suhu tinggi dan tekanan tinggi.

View as

Tabung tungku difusi sic

Sebagai produsen terkemuka dan pemasok peralatan tungku difusi di Cina, tabung tungku difusi semikonduktor vetek memiliki kekuatan lentur tinggi secara signifikan, ketahanan yang sangat baik terhadap oksidasi, ketahanan korosi, ketahanan aus yang tinggi, dan sifat mekanik suhu tinggi yang sangat baik. Menjadikannya bahan peralatan yang sangat diperlukan dalam aplikasi tungku difusi. Vetek Semiconductor berkomitmen untuk memproduksi dan memasok tabung tungku difusi SiC berkualitas tinggi, dan menyambut pertanyaan Anda lebih lanjut.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

Pembawa perahu wafer kemurnian tinggi

Vetek Semiconductor menawarkan pembawa perahu wafer kemurnian tinggi yang disesuaikan. Terbuat dari silikon karbida kemurnian tinggi, ia memiliki slot untuk menahan wafer di tempatnya, mencegahnya meluncur selama pemrosesan. Lapisan CVD SIC juga tersedia jika diperlukan. Sebagai produsen dan pemasok semikonduktor yang profesional dan kuat, pembawa kapal wafer kemurnian tinggi semikonduktor VETEK adalah kompetitif harga dan kualitas tinggi. Vetek Semiconductor berharap untuk menjadi mitra jangka panjang Anda di Cina.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

Dayung Sic Cantilever Kemurnian Tinggi

Vetek Semiconductor adalah produsen dan pemasok terkemuka produk dayung SIC Cantilever yang tinggi di Cina. Dayung cantilever kemurnian tinggi biasanya digunakan dalam tungku difusi semikonduktor sebagai platform transfer atau pemuatan wafer.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

Kolom Vertikal Wafer Boat & Pedestal

Kolom vertikal Vetek Semiconductor, Wafer Wafer Boat & alas terbuat dari bahan kuarsa tinggi atau silikon karbon keramik (SIC), dengan ketahanan suhu tinggi yang sangat baik, stabilitas kimia dan kekuatan mekanik, dan merupakan komponen inti yang sangat diperlukan dalam proses pembuatan semikonduktor. Selamat datang konsultasi lebih lanjut Anda.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

Kapal Wafer yang Berdekatan

VETEK Semiconductor Kapal Wafer Berdekati adalah peralatan canggih untuk pemrosesan semikonduktor. Struktur produk dirancang dengan cermat untuk memastikan pemrosesan yang efisien dan produksi wafer presisi. Veteksemi mendukung solusi produk khusus dan menantikan konsultasi Anda.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

Pembawa wafer sic horizontal

Vetek Semiconductor adalah produsen profesional dan pemasok cincin pemandu yang dilapisi TAC, pembawa wafer SIC horizontal, dan rekan -rekan yang dilapisi SiC di Cina. Kami berkomitmen untuk memberikan dukungan teknis yang sempurna dan solusi produk utama untuk industri semikonduktor. Selamat datang untuk menghubungi kami.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Sebagai produsen dan pemasok profesional Oksidasi dan tungku difusi di Cina, kami memiliki pabrik kami sendiri. Apakah Anda memerlukan layanan khusus untuk memenuhi kebutuhan spesifik wilayah Anda atau ingin membeli Oksidasi dan tungku difusi lanjutan dan tahan lama yang dibuat di Cina, Anda dapat meninggalkan pesan kepada kami.

Kode QR

Tentang kami

Produk

Hubungi kami

Telepon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
Surel
anny@veteksemi.com
Alamat
Jalan Wangda, Jalan Ziyang, Wilayah Wuyi, Kota Jinhua, Provinsi Zhejiang, Cina

Menu Web

Pencarian Produk

Bahasa

Menu Keluar

Oksidasi dan tungku difusi

Keuntungan komponen silikon semikonduktor vetek:

Tabung tungku difusi sic

Pembawa perahu wafer kemurnian tinggi

Dayung Sic Cantilever Kemurnian Tinggi

Kolom Vertikal Wafer Boat & Pedestal

Kapal Wafer yang Berdekatan

Pembawa wafer sic horizontal

mengirimkan permintaan

Kode QR

Tentang kami

Produk

Hubungi kami

Telepon

Fax

Surel

Alamat