Perahu Wafer Keramik Silikon Karbida

Keuntungan menggunakan perahu wafer keramik silikon karbida veteksemi

● Resistansi suhu yang sangat tinggi hingga 3000 F (1650 ℃）

● Resistensi korosi super terhadap asam, pelarut, garam, dan organik, tahan aus  

●  Mudah dibersihkan

● Resistensi dampak yang kuat

● Slip gratis

Industri manufaktur semikonduktor VETEK biasanya memproses wafer ini baik dalam pembawa wafer horizontal atau pembawa vertikal.

● Pembawa horizontal, biasanya disebut "perahu", memiliki tiga atau empat batang yang dibuang secara horizontal yang diatur dalam desain setengah lingkaran, dengan masing -masing bar memiliki alur yang menghadap ke dalam yang diatur di dalamnya secara berkala. Setiap set alur menentukan ruang vertikal untuk membawa wafer yang dibuang secara vertikal.

● Pembawa vertikal, biasanya disebut "rak vertikal", memiliki tiga atau empat batang (atau tiang) yang ditempatkan secara vertikal yang disusun dalam desain setengah lingkaran, dengan setiap tiang memiliki slot yang dipasang di dalamnya secara berkala untuk menentukan ruang untuk menopang wafer yang ditempatkan secara horizontal.

Untuk memastikan ketepatan geometri yang diperlukan dalam bidang ini, tiga atau empat batang dipasang pada pelat atas dan pelat bawah. Bagian tiang di antara masing-masing slot, yang disebut "gigi", diberi jarak yang sama untuk menopang wafer secara berkala dari dan sejajar dengan pelat bawah. Seluruh rak kemudian ditempatkan di dalam tungku vertikal untuk memproses wafer.

Karena wafer yang diproses pada rak vertikal mengalami lebih sedikit gradien suhu di atas wajahnya (dibandingkan dengan wafer yang diproses dalam kapal horizontal), produsen semikonduktor semakin beralih ke tungku vertikal. Namun, ada kelemahan dari perabotan vertikal. Wafer yang dibuang pada rak vertikal konvensional hanya didukung di tepi luarnya. Dengan demikian, area wafer yang bertumpu pada gigi ini mengalami stres yang lebih tinggi daripada sisa wafer.

Ketika suhu di tungku melebihi sekitar 1000 ° C, tekanan ini sering menjadi signifikan dan bagian -bagian dari wafer kristal tunggal bergerak relatif satu sama lain di sepanjang pelat kristalografi sebagai respons terhadap tegangan tersebut. Fenomena ini, yang disebut "slip", secara efektif menghancurkan nilai perangkat semikonduktor yang terletak di area wafer di mana slip telah terjadi.

Sebagai pemasok dan produsen Perahu Wafer Keramik Silikon Karbida terkemuka di China, VeTek Semiconductor selalu berkomitmen untuk menyediakan teknologi canggih dan solusi produk Perahu Wafer untuk industri pemrosesan semikonduktor. Kami dengan tulus berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.

Itu semikonduktorSilicon Carbide Keramik Wafer Boat Production Shops: