Sic dilapisi rentan LED UV dalam

SIC Dilapisi Deep UV LED Kerentanan adalah komponen bantalan inti diPeralatan MOCVD (Deposisi Uap Kimia Organik Logam). Kerentanan secara langsung mempengaruhi keseragaman, kontrol ketebalan, dan kualitas material dari pertumbuhan epitaxial LED UV dalam, terutama dalam pertumbuhan lapisan epitaxial aluminium nitrida (ALN) dengan kandungan aluminium yang tinggi, desain dan kinerja kerentanan sangat penting.

SIC yang dilapisi rentan LED UV dalam secara khusus dioptimalkan untuk epitaks LED UV dalam, dan dirancang secara tepat berdasarkan karakteristik termal, mekanik dan kimia untuk memenuhi persyaratan proses yang ketat.

Vetek Semiconductor menggunakan teknologi pemrosesan canggih untuk memastikan distribusi panas yang seragam dari kerentanan dalam kisaran suhu operasi, menghindari pertumbuhan yang tidak seragam dari lapisan epitaxial yang disebabkan oleh gradien suhu. Pemrosesan presisi mengontrol kekasaran permukaan, meminimalkan kontaminasi partikel, dan meningkatkan efisiensi konduktivitas termal dari kontak permukaan wafer.

Vetek Semiconductor menggunakan grafit SGL sebagai bahan, dan permukaan diperlakukan denganCVD SIC COATING, yang dapat menahan NH3, HCl dan atmosfer suhu tinggi untuk waktu yang lama. SIC yang dilapisi SIC VETEK SIC DEEP UV LED cocok dengan koefisien ekspansi termal dari wafer epitaxial ALN/Gan, mengurangi wafer warping atau retak yang disebabkan oleh tekanan termal selama proses.

Yang paling penting, ruscor LED UV yang dilapisi SIC yang dilapisi UV dengan sempurna beradaptasi dengan peralatan MOCVD utama (termasuk Veeco K465i, Epik 700, Aixtron Crius, dll.). Mendukung layanan khusus untuk ukuran wafer (2 ~ 8 inci), desain slot wafer, suhu proses dan persyaratan lainnya.

Skenario aplikasi:

● Persiapan LED UV yang dalam: Berlaku untuk proses epitaxial perangkat dalam pita di bawah 260 nm (desinfeksi UV-C, sterilisasi dan bidang lainnya).

● Epitaxy semikonduktor nitrida: Digunakan untuk persiapan epitaxial bahan semikonduktor seperti gallium nitrida (Gan) dan aluminium nitrida (ALN).

● Eksperimen epitaxial tingkat penelitian: Epitaxy UV yang dalam dan eksperimen pengembangan material baru di universitas dan lembaga penelitian.

Dengan dukungan dari tim teknis yang kuat, Vetek Semiconductor dapat mengembangkan kerentanan dengan spesifikasi dan fungsi unik sesuai dengan kebutuhan pelanggan, mendukung proses produksi tertentu, dan menyediakan layanan jangka panjang.

Data SEM dari film pelapis CVD SIC:

Sifat fisik dasar pelapisan CVD SIC:

Itu semikonduktorSIC Dilapisi Toko Produk Kerentanan LED UV: