Lengan robot silikon karbida

Lengan robot silikon karbida Veteksemicon adalah solusi pemrosesan semikonduktor kelas atas yang dirancang khusus untuk lingkungan industri yang keras. Memanfaatkan teknologi material silikon karbida silikon tinggi canggih, ini menunjukkan stabilitas dan daya tahan yang luar biasa dalam suhu tinggi, lingkungan korosif, dan kondisi vakum yang sangat tinggi. Sebagai komponen utama dalam proses penanganan wafer, etsa, dan deposisi, lengan robot kami secara signifikan meningkatkan produktivitas dan mengurangi biaya perawatan.

Ⅰ. Parameter teknis

Ⅱ. Veteksemicon silikon karbida robot lengan keuntungan inti

1. Toleransi lingkungan yang ekstrem

Lengan robot kami menggunakan lapisan SIC yang diformulasikan secara unik yang mengalami beberapa proses pengendapan suhu tinggi, memungkinkannya untuk mempertahankan integritas struktural pada suhu berkelanjutan 1500 ° C dan secara efektif menahan korosi dari pemboman plasma dan lingkungan asam dan alkali yang kuat. Ini pada dasarnya membahas titik -titik nyeri bahan tradisional yang rentan terhadap penuaan dan memiliki umur pendek di bawah kondisi kerja yang ekstrem.

2. Sifat mekanik yang sangat baik

Dengan mengadopsi struktur gabungan dari substrat grafit dan lapisan SiC, kami telah mencapai kekakuan yang jauh melebihi bahan logam sambil memastikan lengan sangat ringan. Desain ini memastikan bahwa deformasi lengan robot sangat kecil selama gerakan bolak-balik berkecepatan tinggi, secara efektif menekan jitter, sehingga dengan kuat mengendalikan akurasi penentuan posisi berulang dalam ± 0,02mm, memastikan transmisi wafer presisi yang aman.

3. Kebersihan yang sangat tinggi

Kami memahami bahwa kontaminasi partikulat adalah pembunuh hasil nomor satu. Oleh karena itu, setiap lengan robot mengalami pemolesan presisi dan perlakuan permukaan khusus, menghasilkan kekasaran permukaan RA kurang dari 0,1μm. Lapisan itu melekat dengan aman, mencegah risiko mengelupas. Produk kami 100% diuji kebersihan, sepenuhnya memenuhi persyaratan ruang bersih yang sangat tinggi dan siap digunakan dalam jalur produksi canggih.

4. Umur Layanan Panjang

Berkat kekerasan bawaan SIC yang melekat pada 3000 HV dan resistensi keausan yang sangat baik, robot lengan kami mengalami degradasi kinerja minimal bahkan setelah puluhan ribu siklus gerak. Kehidupan layanan mereka adalah beberapa kali komponen padam keramik atau aluminium biasa, secara signifikan mengurangi waktu henti untuk penggantian dan pemeliharaan, memberikan efektivitas biaya keseluruhan yang signifikan bagi pelanggan kami.

Ⅲ. Bidang aplikasi utama

Veteksemicon silikon karbida robot rantai verifikasi rantai ekologis mencakup bahan baku untuk produksi, telah melewati sertifikasi standar internasional, dan memiliki sejumlah teknologi yang dipatenkan untuk memastikan keandalan dan keberlanjutannya di semikonduktor dan bidang energi baru. Selamat datang untuk berkonsultasi dengan kami kapan saja.