Silicon Carbide Sic Wafer Boat

Veteksemicon sic Wafer Boat adalah pembawa inti yang dirancang khusus untuk proses semikonduktor suhu tinggi. Memanfaatkan grafit yang ditekan secara isostatis dengan kemurnian tinggi sebagai substratnya, produk ini menggunakan teknologi deposisi uap kimia yang dipatenkan untuk membentuk lapisan pelindung silikon karbida silikon yang padat di permukaan.

Lapisan ini dengan mulus menggabungkan konduktivitas termal grafit yang sangat baik dengan ketahanan korosi silikon karbida yang luar biasa. Lapisan yang dikontrol secara ketat mencapai ketebalan 80-120μm, secara efektif menahan korosi dari berbagai atmosfer asam dan alkali, secara signifikan mengurangi risiko kontaminasi logam. Ini mempertahankan stabilitas struktural dan integritas dimensi bahkan di lingkungan suhu tinggi, memberikan perlindungan yang andal dan dukungan untuk wafer selama proses kritis seperti oksidasi, difusi, dan pertumbuhan epitaxial, secara efektif memperluas umur wafer lebih dari tiga kali lipat dari kapal grafit konvensional.

Ⅰ. Parameter teknis

Ⅱ. Veteksemicon sic Wafer Boat Keuntungan Inti

• Resistensi korosi yang sangat baik

Lapisan SIC pada kapal wafer Veteksemicon diendapkan menggunakan proses CVD suhu tinggi milik kami, menghasilkan struktur seragam yang padat yang benar-benar bebas dari pori-pori dan retakan. Penghalang padat ini secara efektif mengisolasi wafer dari lingkungan tungku. Atmosfer pengoksidasi yang kuat, senyawa berfluorinasi, dan gas korosif lainnya tahan terhadap lapisan pelindung ini. Ini berarti wafer Anda dilindungi dari kontaminasi, sementara kapal itu sendiri tetap utuh melalui proses ekstrem yang berulang, secara signifikan memperpanjang masa pakainya.

• Bahan kemurnian sangat tinggi

Kami memahami bahwa bahkan kontaminasi sekecil apa pun dapat membuat seluruh batch wafer tidak berguna. Oleh karena itu, Veteksemicon secara ketat mengontrol bahan baku, menggunakan grafit yang ditekan secara isostatis dengan kemurnian melebihi 99,9995% sebagai substrat. Pelapis SIC yang diendapkan pada substrat ini juga mencapai kemurnian 99,999%, dengan kotoran kritis seperti natrium, kalium, zat besi, dan logam berat dijaga dengan kadar yang sangat rendah (PPB). Kemurnian hampir intrinsik ini memastikan tidak ada kontaminan yang dilepaskan pada suhu tinggi, secara fundamental menghilangkan risiko degradasi kinerja perangkat karena masalah terkait operator.

• Stabilitas termal yang sangat baik

Manufaktur semikonduktor membutuhkan proses termal yang sangat konsisten. Koefisien ekspansi termal Veteksemicon Wafer Boat dirancang dengan cermat agar sangat cocok dengan wafer silikon. Selama pemanasan dan pendinginan yang cepat, perahu dan wafer bergerak selaras, secara signifikan mengurangi risiko cacat kisi dan melengkung yang disebabkan oleh tekanan termal. Ini dapat menahan suhu operasi terus menerus hingga 1600 ℃, menjaga kekuatan mekanik yang sangat baik dan stabilitas dimensi bahkan pada suhu tinggi ini. Ini memastikan pengulangan dan keandalan dalam setiap proses berjalan, memberikan fondasi yang kuat untuk kontrol toleransi dalam manufaktur chip.

• Kekuatan mekanik yang tahan lama

Nilai produk kami tidak hanya terletak pada investasi awal tetapi juga dalam biaya kepemilikan jangka panjang. Dibandingkan dengan komponen kuarsa atau grafit tradisional, kapal wafer veteksemicon sic menawarkan keausan yang luar biasa dan ketahanan benturan. Kekerasan permukaan tinggi mereka menahan goresan dan puing -puing selama penanganan dan pembersihan. Ketangguhan ini memungkinkan mereka untuk dengan mudah menahan lebih dari 200 siklus proses suhu tinggi dan prosedur pembersihan yang diperlukan, secara signifikan mengurangi biaya pengadaan, biaya inventaris, dan downtime peralatan yang terkait dengan penggantian komponen yang sering.

• Dukungan verifikasi rantai ekologis

Veteksemicon SIC Wafer Boat 'Verifikasi rantai ekologis mencakup bahan baku untuk produksi, telah lulus sertifikasi standar internasional, dan memiliki sejumlah teknologi yang dipatenkan untuk memastikan keandalan dan keberlanjutannya di semikonduktor dan bidang energi baru.

Ⅲ. Bidang aplikasi utama

Untuk spesifikasi teknis terperinci, kertas putih, atau pengaturan pengujian sampel, silakan hubungi tim dukungan teknis kami untuk mengeksplorasi bagaimana Veteksemicon dapat meningkatkan efisiensi proses Anda.

Gudang Produk Veteksemicon