TAC Coating Chuck

TAC Coating Chuck Vetek Semiconductor adalah solusi ideal untuk mencapai hasil luar biasa dalam proses SIC EPI. Dengan lapisan tantalum karbida, resistensi suhu tinggi, dan inertness kimia, produk kami memberdayakan Anda untuk menghasilkan kristal berkualitas tinggi dengan presisi dan reliabilitas. Diskusi untuk menanyakan kami.

Tac tantalum carbide adalah bahan yang biasa digunakan untuk melapisi permukaan bagian internal peralatan epitaxial. Ini memiliki karakteristik berikut:

● Resistensi suhu tinggi yang sangat baik: Lapisan tantalum karbida dapat menahan suhu hingga 2200 ° C, membuatnya ideal untuk aplikasi di lingkungan suhu tinggi seperti ruang reaksi epitaxial.

● Kekerasan tinggi: Kekerasan tantalum karbida mencapai sekitar 2000 HK, yang jauh lebih sulit daripada paduan stainless steel atau aluminium yang biasa digunakan, yang secara efektif dapat mencegah keausan permukaan.

● Stabilitas kimia yang kuat: Lapisan Tantalum Carbide berkinerja baik di lingkungan korosif secara kimia dan dapat sangat memperluas masa pakai komponen peralatan epitaxial.

● Konduktivitas listrik yang baik: Permukaan pelapis memiliki konduktivitas listrik yang baik, yang kondusif untuk pelepasan elektrostatik dan konduksi panas.

Sifat -sifat ini membuat lapisan Tac tantalum karbida menjadi bahan yang ideal untuk memproduksi bagian -bagian penting seperti bushing internal, dinding ruang reaksi, dan elemen pemanas untuk peralatan epitaxial. Dengan melapisi komponen -komponen ini dengan TAC, kinerja keseluruhan dan masa pakai peralatan epitaxial dapat ditingkatkan.

Untuk epitaks silikon karbida, potongan pelapis TAC juga dapat memainkan peran penting. Lapisan permukaan halus dan padat, yang kondusif untuk pembentukan film silikon karbida berkualitas tinggi. Pada saat yang sama, konduktivitas termal TAC yang sangat baik dapat membantu meningkatkan keseragaman distribusi suhu di dalam peralatan, sehingga meningkatkan akurasi kontrol suhu dari proses epitaxial, dan pada akhirnya mencapai kualitas yang lebih tinggiEpitaxial silikon karbidaPertumbuhan Lapisan.

Toko Produk Semikonduktor Vetek: