Panduan Pelapis TAC berdering

Fungsi cincin panduan pelapis TAC:

Kontrol aliran gas yang tepat: TheTAC Coating Guide Ringdiposisikan secara strategis dalam sistem injeksi gas dariReaktor MOCVD. Fungsi utamanya adalah mengarahkan aliran gas prekursor dan memastikan distribusi seragam mereka melintasi permukaan wafer substrat. Kontrol yang tepat atas dinamika aliran gas ini sangat penting untuk mencapai pertumbuhan lapisan epitaxial yang seragam dan sifat material yang diinginkan.

Manajemen termal: Cincin pemandu pelapis TAC sering beroperasi pada suhu tinggi karena kedekatannya dengan rentan dan substrat yang dipanaskan. Konduktivitas termal TAC yang sangat baik membantu menghilangkan panas secara efektif, mencegah overheating lokal dan mempertahankan profil suhu yang stabil di dalam zona reaksi.

Keuntungan TAC di MOCVD:

Resistensi suhu ekstrem: TAC menawarkan salah satu titik leleh tertinggi di antara semua bahan, melebihi 3800 ° C.

Inertness bahan kimia yang luar biasa: TAC menunjukkan resistensi luar biasa terhadap korosi dan serangan kimia dari gas prekursor reaktif yang digunakan dalam MOCVD, seperti amonia, silan, dan berbagai senyawa logam-organik.

Sifat fisikTAC Coating:

Manfaat untuk Kinerja MOCVD:

Penggunaan cincin pemandu pelapis TAC semikonduktor vetek pada peralatan MOCVD berkontribusi secara signifikan terhadap:

Peningkatan waktu kerja peralatan: Daya tahan dan umur yang diperluas dari cincin pemandu pelapisan TAC mengurangi kebutuhan untuk penggantian yang sering, meminimalkan downtime perawatan dan memaksimalkan efisiensi operasional sistem MOCVD.

Stabilitas proses yang ditingkatkan: Stabilitas termal dan inertness kimia TAC berkontribusi pada lingkungan reaksi yang lebih stabil dan terkontrol dalam ruang MOCVD, meminimalkan variasi proses dan meningkatkan reproduktifitas.

Keseragaman lapisan epitaxial yang ditingkatkan: Kontrol aliran gas yang tepat difasilitasi oleh cincin pemandu pelapisan TAC memastikan distribusi prekursor yang seragam, menghasilkan sangat seragamPertumbuhan lapisan epitaxialdengan ketebalan dan komposisi yang konsisten.

Tantalum carbide (TAC) Coatingpada penampang mikroskopis: